中古 ASM A400 HT #9266026 を販売中
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販売された
ID: 9266026
ヴィンテージ: 1998
LPCVD System
Process: Oxide / Poly
Dual reactors / Dual boats
Boat rotation: Poly
(5) Temperature zones
1998 vintage.
ASM A400 HT (High Temperature)は、オプトエレクトロニクス、MEMS、ナノテクノロジー、太陽光発電などのアプリケーションに使用される高度な拡散炉およびアクセサリーです。このタイプの炉は、1300°Cまでの高温加熱に強力な石英チューブを使用しており、すべてのサンプルバッチで最大温度均質性を実現するように設計されています。A400 HTは、精密かつ再現可能な温度プログラミングを可能にするアクティブ温度制御システムも備えています。その大気制御システムは、高純度のガスの流れを維持する低アウトガス設計を含み、高温のろう付け、焼結または反応大気に最適です。ASM A400 HTは、高速で信頼性の高い温度測定のために赤外線ピロメーターを使用し、カスタマイズされたPCワークステーションを備えたオプションのフルオートメーション機能を備えています。それはまたエネルギー消費を減らす特別に設計されていた壁の絶縁材を特色にします、また広範囲の非浸漬の発熱体は効率的で、均一および暖房の出力を提供します。この設計は、ガス流動乱流による粒子汚染を低減するのにも役立ちます。HTの先進的なアクティブ温度制御システムA400、最大12セグメントのプログラム機能や4つの異なる温度上昇スキームなど、さまざまな機能を提供します。これにより、複雑な温度プロファイルを正確かつ再現可能な温度プログラミングが可能になります。さらに、クイックリリースドアラッチは、サンプルの積み降ろし時の利便性と安全性を提供します。その低いアウトガス設計はまた、高温でのガスの最適な流れを保証し、さまざまな大気中で再現性と信頼性の高いプロセスを提供します。ASM A400 HTは、オプトエレクトロニクス、MEMS、ナノテクノロジー、太陽電池などの高温および均一な拡散プロセスに依存するさまざまな研究開発アプリケーションに最適です。すべてのサンプルバッチにおいて、信頼性が高く、再現性に優れたプロセスを提供し、温度のプログラミングと制御を正確に行える広範な自動化機能を備えています。
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