中古 ASM A 600 #293595388 を販売中

製造業者
ASM
モデル
A 600
ID: 293595388
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1995
LPCVD Furnace, 8" Oxide 1995 vintage.
ASM A 600は、さまざまなアプリケーションで優れた性能を達成するように設計された拡散炉&アクセサリーです。この炉は600°Cの作業範囲を持ち、グラファイト、排気管、SS 316Lステンレススチールコイルで構成された拡散管を備えています。チラーは反応室とプロセス管に信頼性の高い冷却源を提供し、プロセスの完全な温度制御を可能にします。炉は暖房プロセスのための正確な変数を提供することができる注文のコントローラーが装備されています。さらに、複数のセンサーを備えた安全インターロック装置と、反応室内の均一な加熱のための真空密閉絶縁チャンバーを備えています。この拡散炉には、プロセスチューブの均一な冷却を確保するためにEDXシステムを利用する回転式加熱ユニットも含まれています。このユニットは、プロセスの最大限の制御と柔軟性を提供するために、静的および動的加熱モードの両方で動作することができます。また、プロセス中に生成されたスプラッターや余分な材料を除去するために使用される動的クリーニングメカニズムも含まれています。拡散炉に加えて、様々なアクセサリー機器もご用意しています。これには、ガス混合ユニット、サンプルホルダー、油圧パワーパネル、真空圧力計、および炉を操作するために必要なその他のツールが含まれます。さらに、炉にはVCRおよび光放射分光計(OES)マシンがあり、最高の純度の最終製品を保証するために反応プロセスを監視するために使用することができます。全体的に、600拡散炉とアクセサリは、さまざまなアプリケーションで優れた性能を提供します。信頼できる信頼できる部品によって、それは信頼でき、有効なプロセスを必要とするそれらのための理想的な選択です。さらに、その機能とアクセサリーは、炉の性能を最適化するために探している人のための完全なソリューションを提供します。
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