中古 ASM A 600 UHV #9232052 を販売中

ASM A 600 UHVは、超高真空（UHV）サンプルの調製に使用される拡散炉です。この装置は真空チャンバー、真空ポンプシステム、炉室、調節可能な高さのヒーター、およびすべての必要な制御、電源および付属品から成っています。真空チャンバーは5x10-6 Torrの基圧を提供するように設計されています、より低い基盤圧力は部屋から焼くことによって達成可能です。部屋はヒーターおよびサンプルにアクセスする2つのスリットが付いている円筒形です。2つの内部段階はポンプ段階を収容し、外の段階はヒーターおよびサンプルです。内部ステージは回転ベントバルブで回転し、サンプルに簡単にアクセスできます。バルブは開閉式で、チャンバーにマニュアルレバーを取り付け、どちらの方向でも90度回転できます。高真空ニードルバルブは、細かいバルブ制御と精度のために使用されます。真空ポンピングユニットには、コールドトラップ、ロータリーポンプ、拡散ポンプ、および機械、オイル、低温、ターボ分子ポンプの組み合わせが含まれています。コールドトラップは、排出されたプロセスガスの部分的な圧力を低減するために使用されます。メカニカルポンプは、高いポンプ速度とオイルポンプを提供します。低温ポンプとターボポンプはチャンバーに接続され、深い超高真空を実現します。炉の部屋は更に調節可能な高さのヒーターが装備されています、拡散プロセスのためのサンプルを1000 Cまで熱するのに使用されて、およびその場で測定します。調節可能な高さのヒーターはまた外的な関係およびセンサーを制御するプログラム可能なコントローラーによってセットアップされ、制御されます。コントローラには、複数の電気機器を同時に処理する内部マルチプレクサが含まれています。暖房機は堅牢で効率的で、高温と低温の両方をスケーラブルな方法で提供します。工具全体はステンレス製で、主室の内径は600mm、高さは1500mmです。チャンバーには、サンプル用の表示窓と真空通気口が含まれています。アセット全体にベースとクランプ配置が供給され、炉の安全で簡単な取り扱いが可能です。600 UHV拡散炉は、高真空サンプルを準備し、さまざまな拡散プロセスを実行するための汎用性の高いソリューションです。調節可能な高さのヒーターはサンプル暖房の精密な制御を可能にします、実験者が望ましい結果を達成することを可能にします良質の構造および堅牢な設計は長期信頼性を保障します。