中古 ASM A 600 UHV #9097986 を販売中

ASM A 600 UHV拡散炉とアクセサリーは、さまざまな科学分野の超高真空アプリケーション用に設計された包括的なラボ機器パッケージです。600 UHV拡散炉は、最大1000°Cの温度に達することができ、エピタキシャル成長、ナノメートル薄膜堆積、酸化および窒化プロセスなどの用途に最適です。高周波・低EMI電源を備えたマルチゾーン加熱装置を搭載し、正確な温度制御を実現しています。ASM A 600 UHVアクセサリーには、機能性を強化するさまざまなコンポーネントが装備されています。これらには、窒化ホウ素サセプター、基板電子ビーム蒸発器、石英真空ロックシステム、および追加の前蒸着および後蒸着システムが含まれます。これらの部品は、A 600 UHV拡散炉と組み合わせて、さまざまな高度なプロセスに使用できます。窒化ホウ素サセプターは、例えば、均質な薄膜蒸着プロセスを作成するために使用することができます。それは熱衝撃に抵抗し、よりよい温度調整を促進する機能のために知られているホウ素の窒化物からなされます。一方、基板電子ビーム蒸発器は、到達しにくい基板上のナノメートル薄膜蒸着プロセスを可能にします。このコンポーネントには、正確な温度フィードバック制御用の組み込みソフトウェアも付属しています。これらのコンポーネントは、拡散プロセス中に一貫した正確に管理された温度制御を提供します。一方、水晶真空ロックユニットは、拡散と薄膜堆積の成功に必要な超高真空レベルを維持するのに役立ちます。この機械は拡散プロセスの前後の真空の維持に費やす時間を減らすように設計されています。さらに、事前および後の蒸着システムは、望ましい温度への自動ランピングなどの高度な機能も提供しているため、ツールの立ち上がりを待たずにすぐに拡散プロセスを開始できます。要約すると、ASM A 600 UHV拡散炉とアクセサリーは、高精度で包括的なラボ機器パッケージをユーザーに提供します。この装置セットには、精密な温度制御と超高真空レベルを作成するために組み合わせることができるさまざまなコンポーネントが装備されており、幅広い科学分野に最適です。