中古 ASM A 600 UHV #195781 を販売中

ASM A 600 UHVは、超高真空（UHV）調製、加工、薄膜蒸着を目的に設計された拡散炉とアクセサリーセットです。真空チャンバー、電気加熱素子、電源、安全インターロック、デジタル負荷制御装置、自動蒸着制御モジュールで構成されています。真空チャンバーはステンレス製で、内径600mmの円筒形設計です。上下に水冷式のコールドトラップを2つ搭載し、水蒸気が基板に到達するのを防ぎます。A 600 UHVの電気発熱体は、ニクロム元素を埋め込んだホウケイ酸ガラス管です。これらのニクロム素子は電源ユニットに直列に接続されており、真空チャンバ内の温度を正確に操作することができます。電源はチャンバーの壁に埋め込まれており、断熱と加熱素子の安全な制御を可能にします。この制御システムは、デジタル負荷コントローラとPID （Proportional Integral Derivative）アルゴリズムを使用して、0。1度の精度で温度を監視および調整します。これらには、温度制御、緊急停止、圧力安全インターロック、電源ロックアウトが含まれます。さらに、ユニット全体はUHVの圧力（10^-11から10^-9の大気）で動作するように設計されています。これは、表面処理のための非常に低い汚染環境を提供します。セットの最終コンポーネントは自動蒸着制御モジュールです。このモジュールは、蒸着時間とガスの流れを正確に制御することで、複数の蒸着サイクルを可能にします。これは、プロセスパラメータの正確な制御を維持するのに役立つ自動初期化機能を備えています。これにより、再現性と一貫した沈着結果が保証されます。結論として、A 600 UHVは、成膜およびコーティング処理用に特別に設計された、信頼性の高い汎用性の高い超高真空マシンです。デジタル温度と圧力制御、安全インターロック、自動蒸着制御など、精度と再現性を維持する多くの機能を備えています。これらの機能により、工業用および実験用アプリケーションに最適です。