中古 ASM A 412 #9354370 を販売中

ASM A 412
製造業者
ASM
モデル
A 412
ID: 9354370
ウェーハサイズ: 12"
Furnace, 12" Type: G-OX and poly Bottom reactor Top WIP Bottom WIP Top reactor WIP Spindle Panel cover Power box Heating element R1 Heating element R2 Blower R1 Blower R2 PP Box Door plate Top carousel Bottom carousel UPS.
ASM A 412は、主に金属コーティング、半導体およびその他の関連プロセスに使用される拡散炉です。ASM A412は通常1050°C〜1250°Cの範囲で動作するように設計されており、± 3°Cの範囲で並外れた均一性を達成することができます。また、この機器は温度上昇を上下させて予熱する機能も備えており、ギャップレス層とギャップレス層の両方で安定した、均一で信頼性の高い成長を保証します。412には、最大5つの独立制御ポートを備えた8ポート拡散チャンバが装備されています。これにより、センサーやその他のサポート機器が完全にアクセスして、温度を測定し、成長に最適な条件を作成することができます。この電源は、短時間で最高温度に達するために最大40KWの電力を供給できます。A412には、さまざまな部品を制御することによってプロセス全体で温度を安定させることができるマルチゾーン補償システムもあります。ASM A 412は、炉の寿命と耐久性を確保するために統合された冷却ユニットを備えています。この冷却機は、温度低下を低減し、内部部品を保護し、炉の寿命を延ばすのに役立ちます。その他の機能には、プロセス中に過熱する可能性のある部品の熱保護を可能にする優れた温度保護ツールがあります。ASM A412は、拡散プロセスを最適化するために設計された幅広いアクセサリーや機能も提供しています。これには、自動調整の放射ケージ、高度なモーションモジュール、ガスマニホールドシステム、および単一のタッチスクリーンインターフェイスを備えたコントロールボードが含まれます。安全のため、A 412は過熱部品を検出する熱電対と拡散チャンバを冷却するための高圧送風機を備えています。全体として、A412は信頼性と堅牢な拡散炉であり、均一な基板温度を達成することができます。金属コーティング、半導体加工、その他の関連タスクに最適です。この炉は、高度な機能、拡張温度保護、安全オプションを提供しているため、さまざまなアプリケーションに最適です。
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