中古 ASM A 412 #9281043 を販売中

ASM A 412
製造業者
ASM
モデル
A 412
ID: 9281043
ウェーハサイズ: 12"
Vertical furnaces, 12" Oxide process.
ASM A 412は、シリコンウェーハなどの高品質の半導体材料の製造に広く使用されている拡散炉です。この炉は、エピタキシーと呼ばれるガスフロー拡散プロセスを実行するように特別に設計されており、半導体製造および研究施設でよく使用されています。ASM A412は、オーブンチャンバー、発熱体、窒素レギュレータ、圧力制御装置など、いくつかのコンポーネントで構成されています。オーブンの部屋はホウケイ酸ガラスから成っています、それが1100°C。までの温度に抗することを可能にします。発熱体はモリブデンとタングステンで構成され、300〜700°Cの温度で動作します。窒素調整装置はオーブンの圧力レベルを制御するのに使用されています、温度が拡散プロセスを通して一貫性を保つことを保障します。圧力制御システムは、圧力レベルが特定の範囲内にとどまることを保証し、正確に制御された環境を可能にします。412はまた、精密な測定、ポンプマシン、およびコンピュータ制御センサーのセットを含む高度な制御ユニットを備えています。センサーによって提供される測定により、ユーザーは窒素レベル、加熱時間、およびその他の拡散パラメータを正確に制御することができます。コンピュータ制御ポンプは、亜酸化窒素、水蒸気、アンモニアなどの拡散プロセスで使用されるガスのレベルを調整するためにも使用されます。オーブンに加えて、A412には、ガス混合ツール、排気資産、温度センサーなど、いくつかの必要な付属品が含まれています。ガス混合モデルは、拡散プロセスに必要な化学物質を混合するために使用され、排気装置はプロセスの副産物として放出されるガスを排出するために使用されます。温度センサーは室温の変化を検出するために使用され、室内は常に安全な範囲内に保たれます。ASM A 412は、高度で高精度な拡散炉であり、材料の信頼性と効率的な生産環境をユーザーに提供します。この拡散炉を利用することで、高品質な半導体材料を迅速かつ正確に製造することができます。
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