中古 ASM A 412 #9211212 を販売中

ASM A 412は、アニールおよび拡散材料の業界最高水準を満たすように設計された最先端の拡散炉およびアクセサリーです。この多目的な機械は600°Cと1200°Cの間の操作が可能で、最も要求の厳しい適用のための優秀な温度の均等性そして再現性を提供します。大型チャンバーは大型基板の取り扱いに最適で、高度な自動化により、急速な温度サイクルと正確な制御が可能です。堅牢な設計には、耐久性のあるステンレス製のチャンバー、絶縁セラミックス、および清潔で安全な環境を確保するためのコンピュータ制御ポンプが含まれています。アニールのために、ASMのA412は1200°C。の最高の温度に達することができる調節可能な暖房の出力を含んでいます。高度なJ型熱電対は正確な温度測定を保証し、大型ファン冷却ヒーターは長いアニーリングサイクルでより速い温度均一性と安定性を実現します。さらに、ステンレス製のチャンバーと特徴的な電気炉の設計により、幅広い圧力と組成に対する精密な大気制御が可能になります。これにより、アニーリングプロセスの優れた柔軟性と均一性が得られます。拡散のために、A 412はキャリアガスと反応性化学薬品の調節可能な混合物を含み、正確なドーピングまたは完全な表面不動態化を可能にします。このプロセスは、ガスの流れ、圧力、および温度パラメータを最適化することにより、お客様のあらゆる要件に合わせて調整することができます。さらに、このマシンにはピロメーターと高度なデュアルPIDオートチューニングコントローラが搭載されており、高精度で拡散プロセスを測定して完成させます。A412はウェハレベルの加工用に設計されているため、繊細な基板を慎重に取り扱うことができます。フロントドアは180oまで開き、安全なスタンスでウェーハの積み降ろしを可能にします。さらに、定期的に大気中に自動的に排気することで清潔さを維持し、手動でテクスチャリングすることで、クリーンでスポットレスな表面を確保します。全体として、ASM A 412の性能と機能により、ハイエンドのアニールおよび拡散用途向けの業界をリードするツールとなります。その特大の部屋、調節可能な暖房力、高度なオートメーションおよび精密な大気制御は最も要求の厳しい適用のための前例のない精密そして再現性を可能にします。