中古 ASM A 412 #9205124 を販売中
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販売された
ID: 9205124
ウェーハサイズ: 12"
Vertical LPCVD furnace, 12"
Process: NITR
General specification:
Heater element: MRL
Process condition: NIT
Maximum operating temperature: 900c
N2 Load lock
Production wafers: (100) Pieces per boat
Boat operation:
Dual boat
Dual chamber
Furnace:
Loading area light: White
Force air cooling system: Fast ramp
Side maintenance
O2 Density control: 0-100ppm
Furnace temperature controller: MTC
Wafer / Carrier handling:
Carrier type: 12" FOUP
Carrier stage capacity: 12" FOUP
Robot type: GENMARK
Gas distribution:
IGS Maker / Type: FUJIKIN
IGS MFC Maker / Type: HORIBA
IGS Press transducer maker / Type: MYKROLIS
Exhaust specification:
Vacuum gage:
10 torr: MKS
1000 torr: MKS
Main valve: MKS
Pump maker / Model: EDWARDS 1800HTX
Low vacuum valve: MKS
Trap: ASM
Vacuum pressure controller: MKS
Reactor:
Outer / Inner tube material (LP): Quartz
Inner tube yype (LP): Quartz
Inner T/C: TYPE-R LPC /Topco
Boat materail/Type: SiC
Boat rotation
Pedestal material / Type: Quartz
Auto shutter
User interface:
Operation panel: Screen
Indicator type: Touch panel
Operation system: Windows
Dry pumps not included
Power:
Voltage 3Phase: 480VAC
Voltage single-phase: 3
Frequency: 60Hz.
ASM A 412は半導体ウェーハの製造のために半導体産業で一般的である拡散炉およびアクセサリーです。この炉は、窒素、酸素、水素など多くのガス源に接続されている高出力、気密、温度制御されたチャンバーで構成されています。チャンバーには、室内温度コントローラによって制御される広範囲の温度を持つグラファイトライナーと発熱体も取り付けられています。チャンバーには、圧力リリースバルブやアラームなど、多くの安全機能もあります。ガス源は、ガスの流れを調節および制御するソレノイドガスマニホールドを介して炉に接続され、必要に応じて精密な量で炉に入ることができます。ガスは、それが加熱されるいくつかの発熱体を通過し、その後、主要な炉室に入ります。チャンバー内では、プロセスの種類と処理中のウェーハに応じて、特定の温度にガスを加熱します。その後、加熱されたガスはグラファイトライナーとウェハに拡散し、必要に応じて薄膜コーティングまたはその他の層を堆積します。また、ロードロック、温度コントローラ、その他の各種アクセサリなど、ASM A412にも多数のアクセサリーが用意されています。ロードロックは、ローディングおよびアンロード中にウェーハを厳しく制御された環境に保つのに役立ちますが、温度コントローラはガスの温度を正確に制御し、より良い結果を保証します。他にも、クオーツヒーター、コンピュータ制御システム、ウェーハ加工装置など、さまざまなアクセサリーがあります。全体として、A 412は半導体業界で広く使用されている高度な拡散炉とアクセサリーで、さまざまなプロセスと製品を作成します。この炉には、さまざまな安全性と制御機能、およびプロセスを正確に制御するための多数のアクセサリーが装備されており、信頼性の高い結果を生み出すことができます。
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