中古 ASM A 412 #9117001 を販売中

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ASM A 412
販売された
製造業者
ASM
モデル
A 412
ID: 9117001
ウェーハサイズ: 12"
Doped poly vertical LPCVD furnace, 12".
ASM A 412は拡散結合プロセスのために設計されている高度の炉および付属品セットです。このユニットは、拡散プロセスに関与する材料を酸化したり劣化させたりすることなく、高温で部品を結合するのに最適です。ASM A412は、高度な技術を活用して、フィーダ機構とさまざまな発熱体を利用して、接合プロセスの温度が安定していることを確認します。拡散プロセスにより、半導体、MEMS、集積回路などの高精度材料の使用に最適です。A412は、ASM A 412マシンとPC5制御ユニットの2つのベースコンポーネントを備えています。ASM A412には、石英窓を備えたホットゾーンチャンバー、セラミック繊維発熱体、窒素ガス制御、およびパージ用のガスボックスが含まれています。PC5制御ユニットには、タッチスクリーンディスプレイと、デバイスの操作とプログラミングを管理するためのユーザーフレンドリーなインターフェースが含まれています。この設定により、ユーザーはレポートにアクセスして編集し、段階的な動作パラメータ(温度、加熱速度、冷却速度、大気制御を含む)を設定し、拡散結合プロセス全体を監視および制御できます。拡散プロセスに最適な動作温度は1,200˚C (2,192˚F)ですが、412は200〜700˚C (392〜1,292˚F)の温度で動作できます。さらに、A412は、ホットゾーン全体にわたって均一なサーマルプロファイルを維持するトップローディングのタルクコートクォーツサセプターを備えています。これにより、チン鉛合金にとって特に重要な、過度のシフトや劣化のない部品の均一な拡散結合を実現することができます。さらに、このデバイスの自動傾斜調整により、ユーザーはチャンバの角度を調整して、融合されているコンポーネントの最適な配置と移動を行うことができます。最後に、ASM A 412は、ボンディングプロセス全体で適切な圧力と温度レベルを保証する洗練されたエアフロー管理システムを備えています。これにより、酸化リスクを低減し、チャンバーの片側が他方よりも熱い場合でも均一な温度を確保し、温度ショックから結合される部品を保護するのに役立ちます。ASM A412は非常に汎用性が高く、堅牢な拡散結合システムです。その洗練された制御ユニットと調節可能な温度と気流設定は、均一な拡散プロセスを必要とする敏感な材料を扱うための理想的なツールです。
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