中古 ASM A 412 #9114673 を販売中

ASM A 412は、適用拡散および合金プロセス用の自動拡散炉およびハードウェア機器です。この汎用性の高いツールは、金属や合金の高温拡散のために設計されています。ASM A412は、ウェーハ、チップ、または小型サンプルなどのプレフォーム材料の均一で再現可能な拡散プロセスに必要な優れた性能と信頼性の高い結果を提供します。412は、統合されたソフトウェアを備えた高性能コントローラによって制御され、ユーザーは各拡散相に必要なパラメータを定義することができ、プロセス全体をより簡単かつ迅速にします。また、このソフトウェアを使用すると、ウェーハの精度要件に合わせて拡散パラメータをカスタマイズできます。さらに、A412は自動冷却システム、統合されたガス濃縮ユニット、およびオンボード温度および圧力監視機を備えています。この炉は、ウェーハのアライメントを維持し、ウェーハ間ギャップを一定に保つために強力なたわみ機構を使用して、精密設計されたワイヤ駆動メインケーブルを備えています。これは、ステンレス製ハウジングの優れた熱伝導率とともに、ウェーハ全体に均一に熱が分布することを保証します。さらに、コントローラは、温度、大気、高度なプロセスアルゴリズムの正確な制御を可能にする、電源の高精度デジタルPWM制御を提供しています。また、高精度圧力制御ツールを搭載し、温度の機能として炉内のガス全圧を監視・調整するとともに、過剰な加熱ガスをろ過してリサイクルする排気資産を備えています。排気モデルは不純物をフィルタリングし、ウェーハが一貫した精製された安全な熱処理を受けることを保証します。ASM A 412は、さまざまなセラミックス、金属、または合金を含む高精度材料の拡散プロセスをサポートできる耐久性と信頼性の高い機器です。このシステムには、アルゴン入口、保護シールド、拡散プロセスを監視および制御するための温度測定ハードウェアなど、最適な性能を支援するためのいくつかのアクセサリも含まれています。結論として、ASM A412は、金属および合金材料の効率的で一貫した正確な拡散を提供する自動拡散炉およびハードウェアユニットです。この信頼性の高いツールは、高温拡散用に設計されており、優れた熱伝導性、高精度PWM制御、およびカスタムおよび自動冷却プロセス機能を提供します。いくつかの付属アクセサリとともに、A 412は高精度と精度を必要とする拡散プロセスに適しています。