中古 ASM A 412 #9076841 を販売中

ASM A 412
製造業者
ASM
モデル
A 412
ID: 9076841
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2007
Nitride/Ar poly LPCVD dual thermal vertical furnace, 12" (2) Load ports Side 1: Configured for pCVD TiN deposition Side 2: Configured for As doped Poly HiK Mainframe: MSC3 maintenance screen Genmark GB4S back end robot 28 FOUP carousel capacity Does not include: Pumps or abatement Process chemical cabinet Quartz/tubes 2007 vintage.
ASM A 412は、高度な半導体材料の製造を可能にするように設計された拡散炉およびアクセサリーキットです。拡散炉は、1300度まで加熱することができる大気制御オーブンチャンバーで構成されています。この装置には、高精度のガスコントローラが含まれており、炉に一貫した不活性ガスの流れを提供して酸素と水分レベルを最小限に抑えることができます。拡散炉には、空気露出を低減し、目的の材料を使用するための高純度の雰囲気を作り出すように設計された気密真空システムも含まれています。拡散炉はまた、エネルギー消費を最小限に抑え、乾燥からユニットを保護するように設計されたソリッドステート発熱体を備えています。加熱要素は、コントロールパネルを介して簡単に調整および監視することができます。パネルには、材料の安定した正確な拡散のための温度制御設定も備えています。炉に加えて、ASMのA412セットは最適な性能を保障するために付属品の選択を含んでいます。ラミネートプレスは均一な拡散率と高い歩留まりを保証しながら、プラズマエッチャーが含まれています。脱ガス操作用の真空ポンプも付属していますが、リフトロックドア機構によりメンテナンス時にチャンバーを固定します。412の高度なコントロールパネルは、自動化された操作を可能にし、必要なアプリケーションに最適な温度、タイミング、間隔を提供するようにプログラムすることができます。さらに、コントロールパネルには、過熱、低ガス圧力などの問題に対するアラームも備えており、安全性を確保し、潜在的なダウンタイムを低減します。このマシンの高性能フィルターは、最適なガス拡散とターンダウン比を保証します。A412拡散炉および付属品のキットは厳密な企業および安全規格に付着する良質の、高度等級の半導体材料を作成するための理想的な選択です。組み込み機能と正確な制御ツールにより、信頼性の高いパフォーマンスと一貫した結果を提供します。
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