中古 ASM A 412 #9002453 を販売中

ASM A 412
製造業者
ASM
モデル
A 412
ID: 9002453
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2003
Dual LPCD poly, 12" 2003 vintage.
ASM A 412は研究および生産の実験室で使用される高度の拡散炉および付属装置です。システムは拡散炉、電源、コントロールボックスで構成されています。この拡散炉は、グラファイトサセプターとグラファイトチューブを用いた誘導加熱をガスおよび金属反応剤の原子炉として利用しています。電源は、高出力、500Hzの可変周波数パワーコンバータで、最適な材料処理を保証するための正確な電力制御を提供します。コントロールボックスは、温度、圧力、およびリアクタントのレベルを監視するために使用されます。拡散炉の最大動作温度は1200°Cで、さまざまなサイズと形状の材料を受け入れます。これは、グラファイトチューブとサセプターを介して気体と固体の両方のリアクタントを収容することができます。このユニットには、熱損失を低減し、処理を加速するのに役立つ耐火ジャケットが装備されています。また、サンプル基板の酸化や工具全体の均一な加熱を防止するため、冷却剤の再循環機を採用しています。電源には、コンピュータインターフェイスによって制御される絶縁スイッチング回路が装備されており、精度を最大化します。コントロールボックスは、拡散プロセス中の温度、圧力、およびリアクタントのレベルを監視および制御することができます。また、温度制限器、圧力緩和、停電警報などの安全機能も備えています。このボックスには、アセットをPCやその他の中央制御モデルに接続するためのデジタルI/Oポートもあります。ASM A412は、正確な制御と正確な結果を持つ信頼性の高い拡散プロセスを提供します。それは実験室または生産シナリオのR&Dの適用にとって理想的です。耐火金属、半導体、セラミックス、先端材料の高温処理に適しています。さらに、使いやすいコントロールインターフェイスは、迅速なセットアップと操作のために設計されています。412は、高性能材料の製造にとって非常に貴重なツールです。
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