中古 ASM A 412 #293752528 を販売中

ASM A 412は半導体装置の大量製造のために設計された拡散炉および付属品です。高度な水平強制空気モードを使用して、サンプルのロードまたはアンロードを行います。炉の部屋はモリブデン上塗を施してあり、8 4"ウェーハ、4 8"ウェーハ、または4 12"ウェーハまで収容できます。チャンバーはまた、利用可能なすべての堆積時間を活用するための高速クールダウンモードを備えています。パルス周期的な一定した温度調整システムは± 5°Cの正確さの1200°Cの最高温度を、提供します。これは均一な、質の性能を保障します。ASM A412は酸化ゾーンを備えており、酸素、アルゴン、窒素の雰囲気を提供することができます。これは、インプラント種、ドーパント、および酸化物の優れた制御を提供します。このシステムには、30kW AC製品と、ガスボックスとフラックスボックス用のさまざまな電源が搭載されています。フラックスボックスは加熱パラジウムフィラメントを制御し、マスフローコントローラはピーク基板温度を維持するのに役立ちます。412拡散炉は、さまざまなサセプター開口部が可能で、積み下ろし時間を短縮できます。この設計は、10°C/秒の急速な温度速度を達成するのに役立ちます。LOCOSやゲート酸化物の形成など、迅速なクールダウンが必要なプロセスに適しています。このユニットには、最大11のプログラムレシピと最大40のデータログを格納するPCベースのプロセスコントローラも装備されています。オペレータは、プロセス変数、温度、圧力などを完全に制御します。プロセスコントローラは、フリーオーブンソフトウェアを介してプロセス全体を監視します。高温絶縁材には、真空ボトルの断熱材と冷却ファンが含まれており、エネルギー消費を削減して炉室をすばやく冷却します。これらの冷却ファンは、コールドゾーンとホットゾーンの間の温度勾配を低減するのに役立ちます。高速持ち上がる腕は操作時間を減らし、スループットを高めるのを助けます。A412拡散炉は、半導体製造ラボの研究開発および生産アプリケーションに最適です。設計者は、効果的な温度および大気制御と短いサイクル時間を提供するため、高品質のデバイスを製造するのに最適なツールです。