中古 ASM A 412 #293652798 を販売中

ASM A 412は、幅広い生産ニーズに対応するように設計された堅牢で信頼性の高い拡散炉です。この拡散炉は、最大3つのデバイスとウェーハまでの単層または複数のレイヤーアプリケーションに最適であり、最適な均一性とプロセス性能のためのランプアップと均質化機能を提供します。この装置には、最大4つの独立した加熱ゾーンと強力な対流ファン制御が装備されており、急速な温度上昇を保証します。また、拡散プロセスの正確な制御と均一性のための正確なガスの流れを提供するように設計されている統合ガス分布システムが装備されています。この拡散炉は、過熱保護やナイフのエッジ加熱空気ユニットなどの安全機能を統合しており、蒸着速度の変化を最小限に抑え、基板の変形を最小限に抑え、プロセスの均一性を最適化した高度な拡散蒸着プロセスを提供します。また、熱電対制御や圧力、真空、サーマルサイクル、タイムベースパラメータなどのプロセスパラメータも搭載しており、高度なプロセス再現性と制御が可能です。このツールはまた、ユーザーフレンドリーで高度なプロセスコントローラを提供し、シンプルなグラフィカルユーザーインターフェイスと簡単にプログラム可能なコマンドを備えています。これらの機能を備えたASM A412は、酸化物から銅までの膜や層、その他のさまざまな精密コーティング用途の高品質な拡散プロセスに最適です。