中古 ASM A 400 #9015529 を販売中

ASM A 400は、ASM Internationalによって製造された拡散炉および関連アクセサリーです。この炉は、熱プロセス中に高度な温度制御を提供し、プロセス用途において最大限の柔軟性を提供するように設計されています。HACVD、熱酸化、低圧化学蒸着（LPCVD）、高温アニュラルシャッターアニーリング（HTASA）、半導体など幅広い用途に適しています。ASM A400は、メインハウジング、多機能パワーモジュール、および垂直チャンバー部品で構成されています。チャンバー成分には、原子力顕微鏡（AFM）および水晶振動測定（QCM）用の8列が含まれています。メインユニットは、単一のリムーバブルトップで垂直に保持された絶縁シングルピースモジュールです。それはガス制御および冷却のための単一側面のデジタルコントローラーそして2つの容易に調節可能なスイッチングループを含んでいます。パワーモジュールには、デジタル電流-電圧-タイムコントローラと2つの冷却システム、強制空気装置と水冷システムがあります。垂直チャンバーには、オプションのRF （RF）マッチングネットワークと、暖房ケーブルまたはメンブラッチングユニットが含まれています。A-400には、炉内の安全な圧力レベルを維持する圧力救助機や、上限設定を超えた場合に災害を防ぐシャットダウンおよび緊急シャットダウンシステムなどの一連の安全メカニズムも備えています。この炉には、コラムを通して空気を循環させ、ホットスポットの形成を防ぐために定期的に流れを逆転させる2段階の冷却ツールが装備されています。これにより、炉全体の温度の均一な分布が保証されます。ASM A-400には、プロセスまたはユーザーカスタマイズ用のさまざまなアクセサリーもあります。これらの付属品はHTASAのためのaperatureのサイズ、シャッター速度、温度および点火制御を制御するための環状シャッターコントローラーを、含んでいます；温度を監視するための発熱体の熱電対および炉の部屋の熱電対、；そして真空制御のための真空のフィードスルー。結論として、A400は強力で汎用性が高く信頼性の高い拡散炉と付属品です。精密で安定した性能を発揮し、半導体業界の幅広い用途に適しています。これは、ユーザーの安全性を最大化するための安全メカニズムの配列が装備されており、利用可能なアクセサリーでカスタマイズすることが容易です。