中古 ASM 250 #9237803 を販売中

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製造業者
ASM
モデル
250
ID: 9237803
ウェーハサイズ: 4"-8"
Horizontal furnace, 4"-8" (4) Tubes EG Process: (3) Tubes up to 800°C Annealing: Tube up to 1-100°C.
ASM 250は高度な拡散炉と付属品です。太陽電池、電池、超伝導体などの用途向け材料の効率的かつ安全な拡散を可能にします。2インチまでの基板に対応し、21°Cから1050°Cまでのガス拡散温度を制御できます。それは産業、学術および研究センターの適用の使用のために適している強力な装置です。250はコントロールユニットとパワードライブユニットの2つのコンポーネントで構成されています。制御ユニットは、拡散温度、ガス流量、供給ライン圧力、およびその他のプロセス設定の制御を担当します。また、プログラム可能なガス混合流量、温度制御、およびその他の重要なパラメータのための便利な制御を備えたユーザーフレンドリーなLCDインターフェイスを備えています。パワードライブユニットは、拡散炉の内部に所望の環境を作成するために必要な加熱および冷却電力を提供します。それは2つのバージョンで利用可能です:高温定格システムと低温定格ユニット。高温定格機は最大150VDCの消費電流を最大1,550°Cに供給でき、低温定格工具は最大100VDCの消費電流を最大850°Cに供給できます。ASM 250には、サンプルを迅速に冷却するためのクエンチ資産、安全性を高めるための難燃モデル、拡散プロセス中のサンプル周囲のガスを維持するための基板ホルダーなど、いくつかのオプションの付属品も含まれています。さらに、マルチチャネルガスミキシングモジュール、外部ガスサンプリングポート、カセットベースのサンプル導入システムも250で動作できます。最後に、ASM 250は、アフターサポート、トレーニング、ソフトウェアツールなどの幅広い追加サービスも提供しています。これにより、ユーザーは操作を最適化し、長期的な信頼性の高い操作のためにユニットを維持することができます。
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