中古 RIGAKU 3640 XRF #157114 を販売中
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タップしてズーム
販売された
ID: 157114
ウェーハサイズ: 6"-8"
ヴィンテージ: 2003
Wafer / Disk analyzer, 6"-8"
5 Standard elements for measuring:
Ti, TiW(90/10), Au, TiW/Au (layer 1 TiW & layer 2 Au), Ti/Au(layer 1 Ti & layer 2 Au)
Each correlation parts with (3) different thickness for measurement check
Applied to semiconductor / drive IC front end process of bumping
Configuration:
Main body: Measuring stage with vacuum function by X-ray
Main column and chamber
Single chamber only
Manual wafer transfer robot unit
Display unit:
Monitor shows statistic character on monitor
Power transformer BOC EDWARDS IL70 dry pump
Chiller: Yes
Utilities:
CDA
N2
PCW
Main M/C
Holders, 6"-8"
X-Ray tube
Ti Goniometer
Scanning goniometer
Heat exchanger
High voltage transformer
Automatic voltage regulation
Manual L/UL
Control and vision system:
Control system: PC Based with RS232 port
Operation man-machine interface: Color touch panel, 18"
Data collection: yes
Facility and environment:
Operation temperature: 15-25°C
Relative humility: ≤75%
N-2 for dry pump:
Flow rate: 10 mL/min
Pressure: 0.3~0.7 MPa (3~7kg/cm-2)
Cooling water for heat exchange:
Temperature: ≤ 30 °C
Pressure: 0.2~0.4 MPa (2~4kg/cm2)
Quality: City water
Cooling water for dry pump:
Flow rate: 3.5 L/min
Temperature: ≤30°C
Pressure: 0.2~0.4 MPa (2~4kg/cm2)
Quality: City water
(2) Operation manuals
Installation instruction
System module introduction
Operation instructions
Safety instructions
(2) Repair and maintenance manuals
PM Instructions
Trouble shooting instructions
Circuit diagram
208 VAC, 60 Hz, 3 Phase, 80A
Currently warehoused
2003 vintage.
RIGAKU 3640 XRFは、土壌、鉱石、部品などの微量元素組成を測定するために設計されたエネルギー分散型X線蛍光装置です。このX線システムは、3Dスキャン、高速データ収集、マルチチャンネルアナライザなどの高度な技術を組み合わせ、高い精度で結果を提供します。3640 XRFの中心には、短波長のX線を生成するX線励起源があります。コリメータは、試料材料でこれらのX線を指示します。X線が物質と相互作用すると、物質中の電子が励起され、蛍光X線が放出されます。これらの蛍光X線は、検出器によって収集され、マルチチャンネルアナライザによって分析されます。マルチチャンネルアナライザは、サンプル材料から放出されるX線の強度、エネルギー、スペクトルを記録します。RIGAKU 3640 XRFユニットは、材料内のさまざまな要素の組成をほぼリアルタイムで測定することができます。これにより、プロセス制御、品質保証、環境モニタリングなどの幅広いアプリケーションに役立ちます。また、3Dスキャンを実行することで、サンプルの複数の深さと位置の微量元素を測定することができます。このツールはまた、正確な結果を提供するように設計されています。高解像度マルチチャンネルアナライザを使用しており、最小エネルギー要素でも検出できます。さらに、この資産のユーザーフレンドリーなソフトウェアにより、データを迅速かつ簡単にエクスポートして分析することができます。3640のXRFモデルは研究、教育および産業設定のさまざまな適用のために適しています。その高度な技術、正確さ、移植性、迅速なセットアップ時間は、あらゆるタイプのプロジェクトに最適です。
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