中古 WAFER PROCESS SYSTEMS / WPS SLFFH-600-P #9003748 を販売中

WAFER PROCESS SYSTEMS/WPS SLFFH-600-Pウェットステーションは、さまざまな生産環境において、小型/大型フラットウエハを処理するために設計された、自動化された完全統合された装置です。これは、コンベアとして機能する一連の回転トレイを備えており、正確で再現性のある製品のロードとアンロードを可能にします。このシステムは、複数の化学プロセス、薄型化、エッチング、洗浄など、さまざまなプロセスや材料向けに設計されており、オプションのコーティング、レーザスクライブ、ロボティクスシステムを装備することができます。WPS SLFFH-600-Pは、最大直径600mm、厚さ20mmまでのウェーハに対応でき、1時間あたり最大500個のウェーハを同時に処理できます。ウェーハは回転トレイにロードされ、最大6つの異なるプロセスをローテーションでウェーハに適用できます。すべてのプロセスは機械の専用コントローラによって管理され、生産プロセス全体を正確かつ一貫した制御が可能です。WAFER PROCESS SYSTEMS SLFFH-600-Pは、正確な速度制御のための強力なステッピングモータを備えており、高度なデュアルポンプツールは、ソリューションの速度と流れを制御することができます。このウェットステーションは、連続プロセスモードも備えており、1分間に最大10個のウェーハの積載速度で最大1,800個のウェーハの処理を可能にします。この資産は、クリーンで環境に優しい操作を可能にするパーティクルコレクションとリサイクルモデルでも設計されています。SLFFH-600-Pは、強化構造と高度な安全機能のおかげで、信頼性が高く、堅牢です。装置は人員の安全を保障するために広範な安全テストを受け、警報および緊急停止を特色にします。さらに、システムは衝撃や振動から保護され、温度管理ユニットは最適な作業条件を保証します。WAFER PROCESS SYSTEMS/WPS SLFFH-600-Pは、さまざまな業界の薄型/大型フラットウェーハの加工に最適な信頼性と効率性の高いウェットステーションです。