中古 WAFAB WHRV-5067-134A #9152847 を販売中

WAFAB WHRV-5067-134Aウェットステーションは、さまざまな半導体加工アプリケーション向けに設計された多機能ウェットベンチ装置です。ウェットプロセッシングモジュールとドライプロセシングモジュールの2つのメインモジュールで設計されており、幅広い特殊機能に対応しています。ウェットステーションには、ウェットシンク盆地と真空プラットフォームの2つの主要コンポーネントがあります。ウェットシンク流域は、低圧チャンバーと高圧チャンバーで設計されており、両方とも流量制限器を備えており、水流の正確なレベルを維持しています。高圧チャンバーにはスプレーノズルが装備されており、ウェーハ上の水流を確保し、クリーンで高品質な結果を提供します。真空プラットフォームは、ウェーハの剥離、結晶成長、エッチング、空圧サンプリングなど、さまざまな設計プロセスに対応できるように設計されています。湿式ステーションにはPLC （Programmable Logic Controller）があり、水温、水流量、および化学投与量を制御および監視します。また、ヒーターとサーモスタットを内蔵しており、正確な温度範囲を維持できます。さらに、紫外線光源、排気ファン、浄水装置を搭載し、清潔な水を確保しています。ろ過機は汚染物、粒子および他の不純物を取除くように、優秀な処理の結果を保障するように設計されています。WHRV-5067-134Aウェットステーションには、インターロック、ロックアウトタグ、緊急停止ボタンなどのさまざまな安全機能もあります。これらのすべての機能は、安全な動作環境を確保するのに役立ち、このツールはCEおよび/またはULによって設定された安全基準を満たすように認定されています。要するに、WAFAB WHRV-5067-134Aウェットステーションは、多機能でクリーンルームグレードのウェットベンチ資産です。ウェット処理流域と真空プラットフォームの2つのモジュールで設計されており、幅広い特殊機能に対応しています。このステーションは、水温、流量、および化学投与量を制御および監視するためのPLC、ならびに優れた運用安全性を確保するためのその他の安全機能を備えています。