中古 TEL / TOKYO ELECTRON UW-8000 #9292570 を販売中
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ID: 9292570
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2001
Wet station, 8"
Process: Post cleaner
Chemical supply unit
UPS
Exhaust blower unit
Hot DIW unit
Organic scrubber
Acid / Alkali scrubber
IPA Recycle unit
AC Power box
Position / Name / Material / Temperature control / Measuring / Pump / Filter / Chemical supply / Drain exhaust
POS11 / UL / PVC / Ionizer / - / - / - / - / Natural
POS10 / ID / Quartz / SS HEAT / - / Dip / - / - / Organic
POS09 / FR / Quartz / - / - / - / - / - / Natural
POS08 / HQDR / Quartz / Qtz heat / 2" / - / - / - / Natural
POS07 / HPM / Quartz / CS heat / 3 / Circulation / Filtering / CCSS / Acid
POS06 / OF / Quartz / - / - / - / - / - / Natural
POS05 / HQDR / Quartz / Qtz heat / 2 / - / - / - / Natural
POS04 / APM / Quartz / CS heat / 1 / Circulation / Filtering / CCSS / Alkali
POS03 / QDR / Quartz / - / - / - / - / - / Natural
POS02 / CHCL / PVC / - / - / - / - / - / Natural
POS01 / LD / PVC / Ionizer / - / - / - / - / Natural
Measuring instrument: KURABO Resistivity meter / Temperature controller / APM Concentration meter
Controller: TEL / TOKYO ELECTRONICS Board
FF-20HT Pump
MILLIPORE TAAD011G19E5H23D Filter
THE-63Q CS Heat
Fire extinguisher: Cabinex-EN
Signal tower: 4 Color (GYWR)
PATLITE LED Type
Missing parts:
IPA Vapor dryer Quartz bath
(2) Robot chucks
HPM Plate
APM Plate
Sonic generator
Power supply:
200 V, 150 A, 3 Phase
100 V, 60 A, Single phase
100 V, 5 A, Single phase
2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UW-8000は、多彩なナノ加工プロセスに最適な、直感的なウェットステーションです。これは、500nmから200nmまでの高度なナノスケール機能を作成するために設計されたコンピュータ制御の浸漬超高解像度リソグラフィーツールです。この精密ツールは、非常に小さなウエハや基板に複雑なパターンを「エッチング」するための強烈な光ビームを利用して、驚くほど正確なマイクロエレクトロニクス製品を作成します。TEL UW-8000には、X軸、 Y軸、Z軸での移動が可能な調整可能な高精度の基板ステージが装備されており、ステッピングモーターにより各軸に2ミクロンの分解能を提供しています。内蔵の照明器は、さまざまな光源に対応し、400〜800nmの波長のビームを生成するように調整することができます。ウエハーをレジスト素材に浸漬するだけでなく、エッチングや気化にも使用できます。ウェーハは振動を最小限に抑えるために機械的にサポートされ、ステーションは完全に自動化されているため、無人でもさまざまなプロセスを実行できます。ラボやクリーンルーム環境に簡単に統合できるコンパクトなフットプリントと、アプリケーションの柔軟性を最大限に高める小型軽量ユニットを備えています。TOKYO ELECTRON UW-8000の直感的なユーザーインターフェイスは、簡単な操作のために設計されています。グラフィカルユーザーインターフェイスは、プロセスのすべてのステップをユーザーが歩きます。これにより、ユーザーは独自のカスタムレシピを策定し、より複雑なエッチングパターンを設定することができます。また、相対湿度を監視および制御するために設計された2つの湿度管理システムを備えているため、ウェーハの乾燥と汚染のない状態が維持されます。最終的に、UW 8000は手頃な価格で入手可能な信頼性の高いツールであり、現代的で低コストの方法で洗練されたナノスケール製品を生産しようとしている人に最適です。様々なプロセスにわたって歩留まりを向上させる能力を持つUW-8000は、あらゆるナノ製造ラボにとって貴重な投資です。
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