中古 TEL / TOKYO ELECTRON UW-8000 #9223611 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UW-8000は、バッチおよびシングルウェーハ加工用途に特化したウェットステーションです。この装置は、エッチング、薄膜沈着、溶剤洗浄、化学機械研磨（CMP）、湿式化学処理などの湿式化学処理用に特別に設計されています。TEL UW-8000は、シングルウエハと最大200ウェハのバッチ処理が可能なフレキシブルなシステムです。このモジュールには2つのプロセスモジュールがあり、それぞれ4つのプロセスセルで構成されています。このように、このユニットは、追加の付属品を必要とせずに、単一のウエハとバッチ処理の両方を処理することができます。プロセスセルはスライドオープンゲートを備えており、個々のウェーハへの容易なアクセスとロード/アンロードを可能にします。プロセスレシピの設定と制御は、簡単に操作できるタッチスクリーンディスプレイを使用して簡単に行うことができます。また、すべてのパラメータが適切に設定および記録されていることを確認するための直感的なレシピエディタ/管理マシンが付属しています。内蔵のアラーム管理ツールは、動作中に必要なオペレータの注意を払って環境を囲むことでウェーハの品質を維持するのに役立ちます。チャンバーの設計はまた、優れた温度と湿度制御を提供しながら、毎回均一なウェーハプロセスを保証します。チャンバーには、チャンバーの温度と湿度を制御するマルチゾーン排気アセットが装備されています。また、均一な環境を維持しながら精密な流れを可能にするコンフォーマルフロー技術を特長としています。東京エレクトロンUW 8000は、同一性を維持するために、リアルタイムに空気中の粒子状汚染量を測定するインサイト汚染モニタを搭載しています。TEL UW 8000装置は、常に一貫した高品質の結果を提供するユニークで慎重に設計されたシステムです。複数のプロセスセル、シンプルなオートメーションユニット、アラーム管理機を備えています。このツールは、あらゆる環境で正確かつ再現可能な湿式化学処理を可能にします。