中古 TEL / TOKYO ELECTRON UW-8000 #9185010 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON UW-8000
ID: 9185010
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1997
Wet Station for PR Strip, 8" 1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UW-8000は、半導体デバイス製造のウェットステーションソリューションです。これは、あらゆるサイズの基板から、シリコン、ヒ素ガリウム、シリコンゲルマニウム、シリコンオンイスター、窒化ガリウムベースのHEMTなどの多様な材料まで、幅広い用途向けに設計されています。TEL UW-8000は、厳しい業界仕様に適合する精度と再現性で、複雑なウェットエッチングプロセスを確実かつ安全に完了させることができます。TOKYO ELECTRON UW 8000は、洗浄装置と高速攪拌・濾過機能を内蔵した最大16個のプロセスチャンバーを提供します。このシステムは、プロセス要件を最適化および制御するための正確な精度で最大8つのレシピを完了することができます。TOKYO ELECTRON UW-8000は、5ナノメートル以内にエッチングすることができる、最高品質の材料制御のための単結晶またはデュアル水晶技術を搭載しています。内蔵のECR (e-gun)は、残留金属膜の形成を低減する低温エッチングを提供します。TEL/TOKYO ELECTRON UW 8000には、ガス使用量を最小限に抑えることができる特許取得済みのガスダイナミック/誘電体マグネトロンユニットが搭載されており、内外のガス供給にアクセスして精密ガス制御を行い、エネルギーコストを削減します。UW-8000の自動ロードおよびアンロード機能により、最大4インチ基板の処理時間が向上します。このマシンは、プロセスのすべての側面を制御するための動的なパソコン(PC)インターフェースを備えています。その機能に加えて、TEL UW 8000は、すべての条件で高いレベルの安全性と安定性を達成するように設計されています。UW 8000は、すべての国際的な安全基準を満たしており、その精度と精度を保護するために振動テストされています。また、TEL/TOKYO ELECTRON UW-8000では、自己診断機能やモニタリング機能、リアルタイムのパフォーマンスデータを提供する遠隔監視ツールなど、トラブルフリーメンテナンス機能も充実しています。要するに、TEL UW-8000ウェットステーションは、ガス使用量を最小限に抑えた精密エッチングを提供し、遠隔監視のための安全な接続を提供する、幅広いアプリケーションのニーズに高い信頼性と効率的なソリューションを提供します。動的な機能と安全プロトコルを備えたTOKYO ELECTRON UW 8000は、半導体業界にとって理想的な選択肢です。
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