中古 TEL / TOKYO ELECTRON UW-300Z #9392079 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UW-300Zは、半導体製造プロセス向けに設計されたオールインワンウェットステーションです。この多機能ステーションには、高圧スプレーヤー、ウェット処理バス、液体廃棄物ホールディングタンク、搬送ロボット、蒸気乾燥機、およびUV硬化ランプが含まれています。高圧スプレーヤーはプロセスおよび終わり操作の前にウェーハおよび他の部品の洗浄そしてクリーニングのために重大です。このウェットステーションは、0。8mmのノズル径を持つ70〜85barの高圧範囲を備えているため、損傷のリスクなしに繊細な部品を正確に洗浄するのに理想的です。また、強力で穏やかなスプレーが含まれており、スプラッシュやオーバープレーを最小限に抑えて効率的な洗浄を可能にします。湿式加工風呂はエッチング、洗浄、電気めっき、スケール加工など様々な工程に対応しています。0°C〜120°Cの幅広い温度範囲でご利用いただけます。また、プロセス工程中に均質な材料分布を確保するための攪拌装置も含まれています。さらに、このお風呂はオプションの排水機能を備えており、洗浄時にお風呂を迅速かつ効率的に排水することができます。搬送ロボットは、AGV （Automatic Guided Vehicle）ベースのシステムとユーザプログラマブルな設定により、効果的で効率的な材料輸送を実現するよう設計されています。このロボットは、始点設定、メモリマルチパス操作、位置とデータの復元など、さまざまな操作オプションをオペレータに提供します。さらに、このロボットはコマンド検証ユニットを備えており、すべてのコマンドをチェックし、意図しないプロセスを防ぎます。ステーションの別のコンポーネントである蒸気乾燥機は、最大8分の広範な乾燥時間でサンプルの完全な乾燥を容易にします。このドライヤーは、効率的で一貫した乾燥プロセスをユーザーに提供する効果的な間接ドラム乾燥機を備えています。オプションのUV硬化ランプもステーションに含まれており、ユーザーに耐熱仕上げを提供し、全体的なプロセス時間を短縮します。結論として、TEL UW300Zは半導体製造プロセス向けに設計された汎用性の高いウェットステーションです。高圧噴霧器、湿式処理風呂、搬送ロボット、蒸気乾燥機、UV硬化ランプなどの各種部品を取り揃えており、別々の設備を必要とせずに全ての工程を完了することができます。効率的で完全な乾燥プロセスにより、このウェットステーションは半導体製造用途に最適です。