中古 TEL / TOKYO ELECTRON UW-300Z #9314664 を販売中
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ID: 9314664
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2004
Wet station, 12"
TOADK AQM-100A Resistivity meter measuring system
MITSUBISHI Q06UDHCPU PLC
Gas: H2O2, NH4OH, H2SO2, HCL, IPA
Temperature controller
SRM Tank
Exhaust unit
Main PC
Robot:
RL: VEXTA AKD514H-A / VEXTA PK596AW1-A11
UD: Oriental ARD-A / Oriental ARM98MC-A4
FF-20BT1-T8 Pump
MA901-8FK29-88-3 Heater
Signal tower: (4) Colors (GYWR) PATLITE LED
(2) Teach pendants (Main / Spin dry)
Missing parts
UPS: 208 V, 50 A, Single phase
Power supply: 208 V, 3-Phase, 150 A
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UW-300Zは、フォトリソグラフィや開発などのウェットケミカル加工用途に特化したウェットステーションです。TEL UW300Zは堅牢で信頼性の高いユニットで、操作が簡単で、最も要求の厳しいウェット処理アプリケーションに優れた寿命を提供します。このユニットは、高い再現性と信頼性を提供し、1つのバッチで最大300個のウェーハを処理できます。ウェットステーションは直感的なユーザーインターフェイスを備えており、他のTELウェット処理装置と密接に統合されています。ウェットステーションの中心には、最先端の完全電動ウェーハパレットローダー装置があり、ウェーハ輸送に大きな柔軟性をもたらします。ローダー機構は、100mmから300mmまでの幅広いウェーハサイズに対応するように設計されています。ウェーハは輸送中に安全に保持され、機械的に安定した状態を維持し、潜在的な粒子汚染のリスクを低減します。TOKYO ELECTRON UW 300Zには、ウエハハンドリングロボットが搭載されています。ウエハハンドリングロボットは、完全に調整可能な3点調整システムを使用して、ウエハーを正確に向けることができます。TEL/TOKYO ELECTRON UW 300 Zには、高度な安全性と環境保護機能も搭載されています。作動中の熱い表面温度が受け入れられた限界内に残ることを保障するために熱くする空気カバーは提供されます。このユニットはまた、ウェットステーションへの化学物質の供給を監視および制御するためのフローセンサーを備えています。これにより、化学物質の正確な量がプロセス要件に合わせて特別に調整され、化学的流出や流出のリスクが低減されます。高い歩留まりを確保するために、東京エレクトロンUW300Zには数多くの洗練された欠陥検出・予防システムがあります。このユニットには、加工されたウェーハに存在する堆積物を検出および識別するための粒子検出ユニットが内蔵されています。このユニットは、温度や圧力などの主要なプロセスパラメータを測定して、欠陥や歩留まりが悪い前にプロセス異常を検出するように設定することもできます。UW-300Zは、効率的なウェット処理に必要なすべての機能を提供します。TEL UW-300Zは、電動ローダー機とウェーハハンドリングロボットを高度な安全・欠陥防止システムと組み合わせることで、最先端のプロセス制御と再現性を提供します。
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