中古 TEL / TOKYO ELECTRON UW-300Z #9282761 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UW-300Zは、ウエハー加工用に設計されたウェットステーションです。このユニットは主に高精度エッチングステーションとして使用され、最大8inchのウェーハを処理することができます。TEL UW300Zは8x10-3Pの真空を実現できるターボ分子ポンプを備えています。この真空機能は、1µmよりも小さい機能の非常に精密なエッチングを可能にするため、エッチング処理に不可欠です。TOKYO ELECTRON UW 300Zは、最も複雑な8inchウェーハ設計でも12軸制御を実現しています。また、アニールやパッシベーションなどのポストエッチング加工用のホットプレートも装備しています。TOKYO ELECTRON UW300Zは、20°C〜200°Cの温度範囲で動作し、すべてのウェーハ位置で均一な温度を生成し、再現性の高い正確なエッチング結果を得ることができます。ステーションには発煙抽出器と化学フードもあり、どちらも清潔で安全な作業環境を維持するのに役立ちます。このユニットには、システムのパフォーマンスに関するリアルタイムデータを提供する診断システムも装備されています。これには、総エッチング時間、ガス圧力、熱プロファイルなどの情報が含まれます。これにより、正確さと精度を確保し、トラブルシューティングの時間を短縮できます。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON UW 300Zは8inchウェハ処理に最適化された高性能ウェットステーションです。真空機能、12軸制御、温度範囲、診断システムなどの機能の組み合わせにより、チップ製造プロセスに最適です。このユニットは、精度、再現性、安全性を保証し、現代のウェーハ製造にとって貴重なツールとなります。