中古 TEL / TOKYO ELECTRON UW-300Z #9230208 を販売中
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ID: 9230208
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2003
Wet bench, 12"
Wafer flow direction: Rear to front
2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UW-300Zは、半導体製造プロセスで使用される先進的なウェットステーションです。超低電圧(300V)処理アプリケーション向けに設計されており、最適な精度でプロセスシーケンスを実行できます。このウェットステーションは、複雑なデバイスを作成するために、さまざまなプロセスのために複数のチャンバーを調整することができます。TEL UW300Zには、すべての操作に正確な操作を提供するダブルアームロボット転送装置があります。デュアルアームロボット構造により、ウェーハはプロセス全体にわたって穏やかに処理されます。さらに、高度なビジョンシステムの助けを借りて、ロボットの速度、効率、信頼性が最大化されています。このウェットステーションには可動式のガス供給ラインも装備されており、圧力を損なうことなく、所望の領域に向けて正確な処理ガス量を導くことができます。ガス供給ラインを使用することで、高密度運転を可能にし、汚染のリスクを低減します。TOKYO ELECTRON UW 300Zウェットステーションは、プロセスチャンバーの冷却と加熱のためのソースとシンクの両方の機能を備えています。これにより、より高いレベルの均一性と精度を実現します。ウェットステーションには、プロセスチャンバーへの不正アクセスを防止するセキュリティロックユニットなど、さまざまな安全対策が施されています。安全で安全な環境は、潜在的なプロセス障害を防ぐのに役立ちます。TEL/TOKYO ELECTRON UW300Zウェットステーションは、あらゆる半導体製造設備に貴重な付加価値があります。幅広い処理能力を有し、作業全体の精度と安全性を確保します。TEL/TOKYO ELECTRON UW 300 Zウェットステーションは、デュアルアームロボットモーション、最先端のビジョンマシン、ガス供給ラインを備え、あらゆる半導体生産ニーズに対応する信頼性と効率性の高いソリューションです。
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