中古 TEL / TOKYO ELECTRON UW-300Z #293821721 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UW-300Zは、ウェハ加工用に設計された完全自動ウェットベンチステーションです。それは最高の効率の高精度、高い生産性および十分に自動化されたぬれたエッチングの解決の場所です。直径300mmまでのウエハ加工が可能で、スピードと精度に優れています。このウェットステーションは、シリコン、ヒ素ガリウム、ゲルマニウム、窒化アルミニウム、サファイアなどの多様な材料のエッチングに使用されます。TEL UW300Zはモジュラー設計を採用しており、人の介入なしにウェーハの積み下ろし、保管、転送を可能にし、潜在的な汚染や損傷を最小限に抑えます。また、オープンアーキテクチャを提供し、既存の生産システムへの統合を控えめに促進します。この装置は、処理前にウェーハを格納するように設計されており、より多くのスループットと自動化を可能にします。直感的なコントロールパネルは、運用情報、自己診断システム、リアルタイムのプロセス監視機能を提供します。さらに、汚染や損傷を防止する保護シールド、粒子や化学物質の緩和のためのろ過システム、機械とウェーハの完全性を確保するためのさまざまな安全インターロックが装備されています。TOKYO ELECTRON UW 300Zは、高精度、高生産性、統合性、柔軟性を提供します。さまざまなTELエッチングプランやその他の市販レシピに対応するように設計されています。オープンアーキテクチャソフトウェアモジュールとリアルタイムプロセスモニタを備えているため、ユーザーは独自のプロセスを簡単にカスタマイズして特定の要件を満たすことができます。また、精密温度・時間制御、高精度ウェーハアライメント、ウェーハチェックツール用光源を内蔵しています。さらに、TEL/TOKYO ELECTRON UW300Zは、物理/化学ウェットエッチングからメッキ、成形まで、複数のプロセス構成をサポートします。全体として、TOKYO ELECTRON UW 300 Zは卓越した精度と生産性を提供するように設計されています。生産性、柔軟性、精度の向上が求められる中小半導体生産のウェハ加工要件に適しています。また、業界標準の安全対策と相まって、高品質のエッチングを高集積で提供することも可能です。