中古 TEL / TOKYO ELECTRON UW-200Z #9278993 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UW-200Zは、オートメーション性の高さから半導体メーカーに人気のウェットステーションです。ウェットステーションとして、半導体ウェーハから材料を除去するためのプロセスである化学エッチング工程に使用するように設計されています。TEL UW200Zは、1つのプロセスで複数のウェハに対応できるように設計された本格的なウェットステーションです。そのユニークなデザインは、ウェットステーションがステーション間を素早く移動して複数のウェーハを一度に処理することを可能にする、移動プラットフォーム上の固定メインフレームを特徴としています。これにより、より高い自動化が可能になり、化学エッチング処理に必要な手動介入の量が削減されます。TOKYO ELECTRON UW 200 Zは、ステーション間の移動を自動化するためのアプリベースのインターフェースを備えています。このアプリには、化学エッチング手順に必要な正確なプロセスパラメータを決定するために使用できるレシピもロードできます。ステーションは、単一のユーザーによって操作することができ、一度に最大4つのプロセスタンクを提供することができます。ウェットステーションには、アラーム機器、ロータリーロック、マスタリングシステムなど、最新の安全技術が搭載されています。マスタリングユニットは、ステーションがエンドポイントに到達しようとしているときにユーザーが可聴通知を取得することができます。また、化学蒸気の飛散を防ぐために、換気装置を備えています。UW 200 Zは、優れた処理速度を誇る信頼性の高いウェットステーションです。1つのバッチ内で最大4つのウェーハを処理でき、連続生産のために連続的にバッチを繰り返すように設定できます。ステーションは、電源を220VするAC100Vによって動力を与えられ、クリーンルーム環境で使用されるように設計されています。全体的に、TEL UW 200 Zは信頼性の高いウェットステーションで、複数のウェーハの自動化学エッチングに最適です。自動ムーブメント、アプリ制御インターフェース、安全機能などの高度な機能により、半導体製品の製造に最適です。