中古 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #9353550 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Expediusは、半導体加工に使用される半導体デバイス製造装置の一種であるウェットステーションです。化学蒸着（CVD）、電気化学蒸着（ECD）、物理蒸着（PVD）などの複数のプロセスを処理することができます。主に集積回路（IC）チップの製造に使用されます。ウェットステーションは、高度な半導体技術の要求に応えるように設計されており、生産プロセスのさまざまなニーズに対応するさまざまなオプションを備えています。ウェットステーションのコアシステムは、プロセッサ、コントローラ、およびHuman-Machine Interface （HMI）で構成されており、オペレータはプロセス手順を手動で制御できます。プロセッサとコントローラは、プロセスを管理するさまざまなパラメータを制御し、プロセス中にさまざまなパラメータを調整する責任があります。これには、ウェーハ全体のプロセスの均一性を確保するために、正しい温度と圧力値を設定することが含まれます。HMIにより、オペレータはプロセス環境を設定し、必要なプロセスを実行することができます。プロセッサとコントローラに加えて、ウェットステーションにはさまざまなクリーニングシステムがあり、ICチップの処理性と性能に影響を与える不要な汚染物質を除去します。これらのシステムは特定の目的を念頭に置いて設計されており、ろ過されたガス、特別な溶媒、エアロゾルおよび他の洗浄剤の使用を含めることができます。プロセス制御のために、TEL Expediusは様々な計測機器を使用しています。光学検査ツール、ガスアトマイザー、各種プロファイル測定ツールなどがあります。計測装置は、パターン特性や層の厚さなどのプロセス結果を測定するために使用されます。この情報は、必要に応じてプロセスパラメータを調整し、目的の結果を得るために使用されます。TOKYO ELECTRON EXPEDIUSには、火災検知、温度・圧力センサー、気流センサーなどの安全機能が搭載されています。これらの措置はすべて、オペレーターに安全で安全な職場環境を提供するように設計されています。Expediusは強力で信頼性の高いウェットステーションです。精密なプロセス制御で高品質のICチップを製造することができます。プロセスオプションと計測機器の範囲は、オペレータが均一で正確な出力を生成することを可能にします。安全機能により、オペレータの安全な作業環境が確保され、デバイス自体がICチップの効率的な生産のための堅牢で信頼性の高いパフォーマンスを提供します。