中古 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #9353547 を販売中
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ID: 9353547
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2006
Wet bench, 12"
Process: RECA Rec-clean
Load / Unload module:
Transfer module:
Tank SD2 (Dryer):
Guide material: PVDF
Process bath material: PTFE
Cold DIW: 40-60 l/min
POU:
Guide material: QUARTZ
Process bath material: QUARTZ
Temperature: 70°C
Mixing ratio: HCL:H2O, 1:500 / 1:1000
Proportion 1: HF:H2O, 1:500 / 1:1000
Cold DIW: 40-60 l/min
Hot DIW: 40-60 l/min
Heater
HF-960M Concentration monitor
SC1 (M/S):
Guide material: QUARTZ
Process bath material: PTFE
Temperature: 65°C
Mixing ratio: NH3OH:H2O2:H2O, 2:3:130
Megasonic: SSDM 2800 W
Heater
YY5611203J Filter
HORIBA CS-131-0510 Concentration monitor
(2) QDR:
Guide material: PCTFE
Process bath material: QUARTZ
Cold CIW: 40-60 l/min
HF/EG:
Guide material: PCTFE
Process bath material: PTFE
Temperature: 65°C
Mixing ratio: HF/EG
1:10: 65°C
1:50: 60°C
Cold CIW: 4
NSPH-55KML Pump
Chemical heater
QCCATX01 Filter, 0.1 µm
HORIBA CS-158-F1 Concentration monitor
BSG:
Guide material: PCTFE
Process bath material: PTFE
Temperature: 60°C
Mixing ratio: HF/H2S04, 1:5 / 1:30
NSPH-55KML Pump
Chemical heater
QCCATX01 Filter, 0.1 µm
HORIBA CS-133 V Concentration monitor
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Expediusは、TEL Limited （TOKYO ELECTRON）が開発した優れたウェットステーション機器です。半導体デバイスメーカーの技術互換性、自動化、柔軟性、スループットを最大化するように設計されています。TEL Expediusウェットステーションシステムは、半導体業界に統合された完全自動化された加工技術を提供し、エッチング、クリーニング、およびその他の関連プロセスのための最先端のシステムの1つです。TEL/TOKYO ELECTRONの標準エッチング、ストリップ、デポジット技術に加え、各種エッチング/ストリップ、デポジット/ストリップ技術に対応しています。このチャンバーは超高温機能を備えており、エッチング工程に均一な環境を提供します。さらに、このチャンバーは特許取得済みのサイクロン設計を採用しており、製造工程で生成された粒子や残骸を機械が描画、収集、濾過することができます。ロボットアームはタッチスクリーンインターフェイスによって制御され、位置精度、均一なエッチング深さ、均質な環境を提供し、一貫した製品特性を保証します。ロボットアームは、さまざまなエッチング/ストリップ、デポジット/ストリップ操作など、ウェットエッチングとクリーニングプロセスの両方に使用できます。Expediusウェットステーションは、生産コンポーネントと通信し、プロセス監視と生産データロギングを容易にするダイナミックなインターフェースも備えています。これにより、品質保証と継続的な改善のためにプロセスを追跡することができます。また、複数のTEL/TOKYO ELECTRON Expediusウェットステーションを接続するコネクタも備え、スループットを向上させています。全体として、TEL Expediusウェットステーションツールは、半導体デバイス製造におけるエッチング、クリーニングおよびその他の関連プロセスの先進的なソリューションです。高温互換性、サイクロンチャンバー設計、ロボットアーム、ダイナミックインターフェース、スループットの向上など、優れた機能を備えた東京エレクトロンエクスペディアスは、デバイスメーカーに優れたプロセス性能と効率を提供します。
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