中古 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #9353490 を販売中
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ID: 9353490
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2006
Wet bench, 12"
Process: MRCA Pre-clean
Load port
SC1 (M/S)
DHF
Power box
O3 Generator
Fire extinguisher
(3) MIKRO Sonic
(2) U02800PMCA
U02400PMAM
Light tower
Fire extinguisher light
Alarm rotating light
Yellow alarm light
Exhaust / Drain box
(2) Exhaust assy
(4) Clear plastic cover (Middle)
(8) Plastic cover (Top)
Water pipe assy
Robot track assy
(2) Auto L type
Foot stool assy
KOMATSU GRS-612
KOMATSU AIC-7-12-T1
(2) Air driven pump controllers
(6) Step frames
(5) White covers
Top frame
HORIBA Assy
Load / Unload module:
Transfer module:
Tank SD2 (Dryer):
Guide material: PCTFE
Process bath material: PTFE
Cold DIW: 40-60 L / Min
POU (M/S):
Guide material: QUARTZ
Process bath material: QUARTZ
Temperature: 70°C
Proportion: HCL:H2O, 1:500 / 1:1000
Megasonic: SSDM 2800 W
Cold DIW: 40-60 L / Min
Hot DIW: 40-60 L / Min
Heater
CEH-480 Concentration monitor
SC1 (M/S):
Guide material: Quartz
Process bath material: PTFE
Temperature: 55°C
Mixing ratio: NH3OH:H2O2:H2O, 2:3:100
Mega sonic: SSDM 2800W
FF-20BT1 Pump
AIH-124QS CS Heater with WJ
Filter: QCCZATM01K, 0.05 µm
HORIBA CS-131-0510 Concentration monitor
QDR:
Process bath material: QUARTZ
Cold CIW: 40-60 L / Min
DHF:
Guide material: PCTFE
Process bath material: PTFE
Cold CIW: 40-60 L / Min
Mixing ratio: DHF:H2O, 1:25
FF-20BT1 Pump
COOLNICS Heater
Filter: IHIG01M01K, 0.2 µm
CM-210-05 Concentration monitor
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Expediusウェットステーションは、半導体産業向けに特別に設計されたウェット加工ステーションです。ステーションには、最適で安全で効率的なウェット処理機能を確保するためのさまざまな機能が装備されています。ステーションの定義機能の1つは、複数のプロセスモジュール機能です。1つのステーションに最大3つのプロセスモジュールを保持し、複数のウェット処理を並列に実行できます。各作業モジュールは独自の独立したポンプヘッドを備えており、各プロセスを独立した制御することができます。さらに、ステーションには、偶発的な爆発やチャンバーの過剰加圧を防ぐためのセキュリティ機能が組み込まれています。ステーションには、溶剤ベースのステンレススチールサンプと処理中の液体ろ過のための排気口も含まれています。このステーションは、湿式加工時に正確な温度と湿度制御を提供するための温度と湿度コントローラを備えています。これにより、ウェットクリーニング、エッチング、コーティングなどのプロセスを実行するための処理条件が最適なレベルになることが保証されます。さらに、ステーションには高度な自動制御装置が装備されています。これには、プログラム可能なプロセスレシピ、プログラム可能なアラームシステム、データロギング機能などの機能が含まれます。ステーションは、ディスペンスアーム、マイクロピペット、ロボットシステムなど、さまざまなディスペンスシステムとも互換性があります。これにより、再現性と一貫した結果を保証するために不可欠な化学物質を正確かつ正確に分注することができます。駅はまた、直感的でユーザーフレンドリーなディスプレイを提供します。このディスプレイは、現在の温度、圧力、プロセス変数など、常にウェーハの状態に関するリアルタイム情報を提供します。また、EthernetまたはWi-Fi接続を含む遠隔操作も可能で、現場や遠隔地のアプリケーションに最適です。全体として、TEL Expediusウェットステーションは、ウェット処理に最適なソリューションです。複数のプロセスモジュール機能、温度および湿度制御、自動制御ユニット、ディスペンスマシンの互換性により、このウェット処理ステーションは効率的で信頼性があります。in-situであれリモートであれ、TOKYO ELECTRON Expediusはウェット処理のニーズに対応する優れたソリューションです。
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