中古 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #9353489 を販売中
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ID: 9353489
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2005
Wet bench, 12"
Process: MRCA Pre-clean
Load port
Transfer module
SD2
SC1 (M/S)
DHF
Power box
O3 Generator
Fire extinguisher
(3) MIKRO Sonic
(2) U02800PMCA
U02400PMAM
Light tower
Fire extinguisher light
Alarm rotating light
Yellow alarm light
Exhaust / Drain box
(2) Exhaust assy
(4) Clear plastic cover (Middle)
(8) Plastic cover (Top)
Water pipe assy
Robot track assy
(2) Auto L type
Foot stool assy
KOMATSU GRS-612
KOMATSU AIC-7-12-T1
(2) Air driven pump controllers
(6) Step frames
(5) White covers
Top frame
HORIBA Assy
Load / Unload module:
Transfer module:
Tank SD2 (Dryer):
Guide material: PCTFE
Process bath material: PTFE
Cold DIW: 40-60 l/min
POU (M/S):
Guide material: QUARTZ
Process bath material: QUARTZ
Temperature: 70°C
Proportion: HCL:H2O, 1:500 / 1:1000
Megasonic: SSDM 2800 W
Cold DIW: 40-60 L/Min
Hot DIW: 40-60 L / Min
Heater
CEH-480 Concentration monitor
SC1 (M/S):
Guide material: QUARTZ
Process bath material: PTFE
Temperature: 55°C
Mixing ratio: NH3OH:H2O2:H2O, 2:3:100
Megasonic: SSDM 2800 W
FF-20BT1 Pump
AIH-124QS CS Heater with WJ
Filter: QCCZATM01K, 0.05 µm
HORIBA CS-131-0510 Concentration monitor
QDR:
Process bath material: QUARTZ
Cold CIW: 40-60 l/min
DHF:
Guide material: PCTFE
Process bath material: PTFE
Cold CIW: 40-60 l/min
Mixing ratio: DHF:H2O, 1:25
FF-20BT1 Pump
COOLNICS Heater
Filter: IHIG01M01K, 0.2 µm
CM-210-05 Concentration monitor
2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Expediusは、ケミカルウェットプロセスアプリケーションの要件を満たすように設計されたウェットプロセスステーションです。高度なウェーハ伝達機構とカスタマイズ可能なモジュールシステムを組み合わせた高度な自動化機器です。TEL Expediusは、従来のバッチイマージョンユニットからシングルウエハーマシンまで、幅広いプロセスモジュールに適しており、お客様はプロセスを最大限に最適化することができます。TOKYO ELECTRON Expediusツールのより革新的な特徴の1つは、高度なウェーハ転送モジュールです。このアセットは、複数のチャンバ間でウェーハを迅速かつ効率的に転送するように設計されており、ウェーハをはるかに短い時間で処理することができます。このモジュールはまた、ウェーハ処理時の精度と制御を大幅に向上させます。さらに、エクスペディウスモデルはロボットアームを使用してウェーハを正確に配置し、機械的損傷の可能性を最小限に抑えます。TEL/TOKYO ELECTRON Expediusのモジュラー機器により、お客様のニーズに合わせたカスタマイズが可能です。TEL Expediusユニットで使用できるモジュールには、ディップコーティングウエハ用ディップコートモジュール、表面処理用の界面浸漬モジュール、エッチング用ウェットエッチングモジュール、フォトレジストコーティングモジュールがあります。TOKYO ELECTRON Expedius Machineには、ロボットアームのプログラミングをカスタマイズしてプロセス効率を最大限に高める統合ソフトウェアパッケージも用意されています。このソフトウェアは、プロセス結果の詳細なレポートを生成し、プロセスのリアルタイム監視を提供するためにも使用できます。また、このデバイスにはさまざまな安全機能があり、最も安全で信頼性の高いウェットプロセスシステムの1つです。放射線防護シールド、高効率ガスカーテン、安全パラメータに違反した場合に機械を停止する統合ツールが装備されています。Expediusアセットは非常に効率的であり、ウェット処理のための信頼性の高い安全な環境を提供します。ケミカルウェットクリーニングプロセスを最適化し、望ましい結果をもたらすことができる最先端のカスタマイズ可能なシステムの1つです。
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