中古 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #9351446 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Expediusは、半導体製造および産業用途向けに設計されたウェットプロセスステーションです。このウェットプロセスステーションは、紫外線（UV）露出、化学成膜、ウェットエッチング、およびその他の液体ベースのプロセスを含む高品質のリソグラフィ結果を生成するのに最適です。制御を一体化した全自動装置、自己診断故障検知装置、ワンステップの化学供給システムなど、高度な自動化技術を備えています。TEL Expediusは、迅速な応答液体処理を特徴とする水ベースのプロセスチャンバー、チャンバプロセス用のシャワーヘッド搬送ユニット、洗練された自動洗浄機で構成されています。この操作ツールにより、ステーションは多種多様なプロセスを実行することができ、より速い生産速度とより良い品質の部品を可能にします。TOKYO ELECTRON Expediusに内蔵された統合制御は、ステーション内のすべてのプロセスを直感的に操作および管理できる高度なコンピュータベースのプロトコルを備えています。このプログラムは、セットアップから操作まで、各ステップのオペレータをガイドします。これには、高度なオートメーションへのアクセスと各ステップのプリセット値が含まれます。つまり、設定を資産に保存し、特定の目的のために必要に応じて迅速に調整できます。このウェットステーションは比較的低コストで高性能を提供します。優れた温度制御により、様々な基板に適しており、高速で長時間の工程を短時間で完了することができます。このステーションには、トップローディングカセットローダーと特許取得済みの分散機構を備えたat-sourceケミカルインジェクタが装備されています。カセットローダーは最大8つのアクティブなカセットを保持し、素早くローディングとアンロードを行うことができます。Expediusは、フォトリソグラフィ、ウェットエッチング、CMP、マイクロファブリケーションなど、さまざまな技術に適しています。また、フォトレジストおよびその他の後処理ステップの検出と除去を統合したオプションのフォトレジストストリップサイクルを提供し、サイクルタイムの短縮と大量生産を可能にします。このステーションには、液体供給から泡を識別して取り出すためのバブル検出モデルもあり、一貫した高品質の結果が得られます。このウェットステーションは、プロセスの一貫性、精度、再現性を考慮して設計されています。TEL/TOKYO ELECTRON Expediusは、コンシューマーエレクトロニクスから医療機器、航空宇宙部品まで、さまざまな業界に適しています。堅牢なフレーム、高度な機能、自動化された技術により、効率的な生産ワークフローと品質管理を維持するための信頼できるツールとなります。