中古 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #9310953 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius（通称「TEL」）は、半導体生産環境におけるウェットステーションシステムのリーディングブランドです。TOKYO ELECTRONウェットステーションは、マイクロエレクトロニクス産業のニーズに最先端のソリューションを提供し、幅広い機能、機能、サービスを提供します。TEL Expediusウェットステーションは、中小規模ウェハの加工をサポートするように設計されています。各ステーションには、再循環バス、特殊化学タンク、多位置真空ベースのプロセスチャンバー、脱イオン水システム、リモートコントロールウェーハハンドリングシステムなど、完全な処理ツールが装備されています。処理タンクとチャンバーは密閉性が高く、ウェーハの処理中に一定のプロセス圧力を維持するように設計されています。また、ウェーハが広範囲の温度範囲や汚染物質にさらされないように自動化されたデバイスが設置されているため、安全性が優先されます。ウェットステーションシステムは、お客様の既存のツールやシステムと簡単に統合でき、モデムベースのイーサネット統合により、お客様のプラントコンピュータとステーション間の直接アクセスが可能になり、リモート監視とメンテナンスが可能になります。また、粒子分析用の光放射画像（OEMI）、ウエハテスト用のガスおよび空気ベースの特殊な方法論などのオプション分析ツールも提供しています。TEL/TOKYO ELECTRONカスタマーサービスグループは、TOKYO ELECTRON Expediusのユーザー体験をできるだけストレスフリーにするためのサービスを提供しています。これには、完全なインストールと導入のサポートと、包括的でリアルタイムのシステム監視とメンテナンスが含まれます。カスタマーサービス保証はまた、長期的なテクニカルサポートや修理、時折の技術的問題への支援にも及んでいます。全体として、Expediusのぬれた場所は利用できる半導体デバイスの最先端のぬれた処理を顧客に与えることを目的に設計されました。TEL/TOKYO ELECTRON Expediusは、低コスト処理、高速スループット、高精度プロセスのいずれのニーズにおいても、1つの統合プラットフォームで完全なソリューションを提供します。