中古 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #9267601 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Expediusは、半導体製造と材料科学の先進的なニーズに応える最先端のウェット処理ステーションです。ステーションは、酸、アルカリ、有機試薬を含む様々な化学物質を処理することができます。シリコン、石英、シリカ、ガラス、金属、セラミックスなどの異なる基材だけでなく、TEL Expediusウェットステーションは、複数のソリューションを運ぶための中央に配置されたロボットアーム、均一な温度リザーバー、バランス、ペリスタルポンプ、各種プロセスを自動制御するためのプログラマブルロジックコントローラ（PLC）、および機器からのデータ出力をロギングおよび監視するための関連ワークステーションを含む自動プラットフォームです。TOKYO ELECTRON EXPEDIUS Stationは、生物学、化学、物理、材料科学サンプルの様々なラボスケールの調製に対応するように設計されています。これには、沈着、エッチング、クリーニング、特性評価などの標準的な操作が含まれます。ウェットステーションは、センサー、高感度の薄膜試験、ナノワイヤ成長、ナノ溶接、マイクロ/ナノリソグラフィなどのカスタマイズされたアプリケーションの実行にも使用できます。Expediusのぬれた場所は精密、再現性および再現性を提供するプロセス制御の高度を提供します。これにより、プロセス全体の各ステップで一貫した結果が保証されます。温度貯水池は50〜120°Cの温度を維持でき、3°C以下の偏差はありません。ロボットアームは複数のソリューションを正確に処理するように構成されており、サンプル反応を避難させるための真空ラインが内蔵されています。ワークステーションは、TEL/TOKYO ELECTRON Expediusステーションを制御するメインインターフェイスとして機能します。直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）と、システムをプログラミングするための組み込みスクリプト言語の両方が含まれています。インターフェースにより、データロギングと分析が容易になり、結果をさまざまな形式で共有できます。このユニットには、貯蔵前のサンプル特性評価用の加熱乾燥機も含まれています。最先端の技術とカスタマイズされたソフトウェアを組み合わせたTEL Expediusウェットステーションは、さまざまな湿式加工実験を行うための堅牢なプラットフォームです。高度なプロセス制御により、一貫性のある結果を保証し、さまざまな材料やアプリケーションに適応できる柔軟なプラットフォームを実現します。