中古 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #9219044 を販売中

TEL/TOKYOV ELECTRON TEL/TOKYO ELECTRON Expediusは、迅速かつ正確なデバイス処理を可能にするウェットステーションです。ウェットステーションは、化学液体を用いたシングルウエハ処理および洗浄のためのプロセス機器であり、化学物質の高精度な配送と制御、短いプロセス時間、および低粒子カウントを備えています。TEL Expediusウェットステーションは、薬液供給ユニット、制御ユニット、スピナー機構、空気圧ロボットで構成されています。ケミカルデリバリーユニットは、化学タンクから処理タンクに化学物質を輸送するケミカルバルクデリバリーパイプライン、処理タンクからプロセスオブジェクトに化学物質を搬送するケミカルトランスポートチューブ、および化学物質の搬送を制御するコントロールバルブで構成されています。制御ユニットは、化学物質の供給を制御および監視し、オペレータがパラメータを設定し、システム設定を調整することができます。スピナー機構は表面処理時にウェーハを保持し、ウェーハと化学薬品との正確な接触を可能にします。空気圧ロボットは、スピナーからウェーハを取り外し、傾斜したテーブルに配置することが求められます。TOKYO ELECTRON Expediusウェットステーションは、最新の半導体デバイスの製造用に設計されています。ステーションは非常に信頼性が高く効率的であることがテストされ認定されており、コンポーネントは最小限のメンテナンスで長期的な運用を提供するように設計されています。ウェットステーションには、リアルタイムフィードバックユニットやプロセスレポート印刷機など、工具の性能をオペレータが監視できる様々な機能が搭載されています。また、ガス検知器や温度・湿度制御など、さまざまな安全機能も備えています。最大のパフォーマンスを確保するために、Expediusにはさまざまなツールとセンサーが装備されています。このステーションには、大規模な特大ブロワーユニットとケミカルインジェクターが装備されており、精密な化学液体配送を保証し、化学物質配送資産パラメータの正確な制御が事前に設定されています。ステーションには、温度、圧力、湿度、粒子濃度、液体レベルなどのさまざまな環境側面を検出および監視し、プロセスの品質を維持するために、さまざまなセンサーが装備されています。さらに、高度なデータロギングと分析ソフトウェアを搭載しており、オペレータは操作ログを分析して監視し、タイムリーに操作上の問題を特定して修正することができます。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON Expediusウェットステーションは、半導体デバイス部品の正確な処理と洗浄を可能にする高度で信頼性の高いモデルです。この装置は高精度、高効率、信頼性が高く、高度な機能により、幅広い生産ニーズに対応する高品質の製品を提供します。