中古 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #9211149 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Expediusは、半導体製造の全段階における基板の精密加熱・冷却用に設計されたウェットステーションです。この装置は高い精度と信頼性を提供し、ユーザーは最高レベルのプロセス制御と生産性を維持することができます。このシステムは、プログラム可能なスキャン、精密加熱および冷却プラットフォーム、および密閉ループ熱制御ユニットを使用して、繊細な基板の公差を効率的に維持します。機械のスキャン要素は2000°Cまで速く、正確な機内温度調整を提供します。2段階のプロセスを利用して、スキャンツールはまず基板温度を正確な設定ポイントにキャリブレーションし、短いサイクルの冷却と加熱を使用して基板温度を正確に制御します。基板が一貫した温度を維持するために、TEL Expediusはクローズドループ熱制御アセットを採用しています。このモデルは、非接触赤外線センサを使用して基板温度を測定し、事前に定義されたレベルに自動的に補正します。装置はまた、リアルタイムの調整のための温度フィードバックを提供します。高速かつ正確な温度制御に加えて、システムは使いやすいインターフェイスを提供します。ユーザーフレンドリーなソフトウェアは、ユニットの迅速かつ簡単な操作だけでなく、データロギングと機械制御を可能にします。また、Ethernetによる遠隔保守・運用も可能で、東京エレクトロンエクスペディアスツールの複数のツールを使用して、あらゆるビジネスに便利に利用できます。アセットは柔軟に設計されており、さまざまな生産ニーズに合わせてカスタマイズすることができます。プロセスチャンバー、スキャナ、電源、冷却などのサブシステムの構成を通じて、ユーザーの特定の要件に合わせて調整できます。Expediusは、半導体製造のすべての段階で基板を正確に加熱および冷却するための強力で信頼性の高いツールです。プログラム可能なスキャン、精密加熱および冷却プラットフォーム、およびクローズドループ熱制御モデルにより、基板が正確な温度範囲に保たれ、プロセスの正確な制御と最大の生産性が保証されます。