中古 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #9209422 を販売中

TEL （TOKYO ELECTRON） TEL/TOKYO ELECTRON EXPEDIUSは、日本のTEL/TOKYO ELECTRON社が製造するウェット半導体ステーションです。蒸着、拡散、リソグラフィなどに使用され、半導体産業の電子部品を素早く作成します。TEL Expediusステーションは、自動化されたウェットエッチングおよび化学機械的平面化化化学ステーションであり、エッチングチャンバー、拡散炉、リソグラフィートラック、中央コントローラとのインターフェースを含む複数のチャンバーで構成されています。エッチングチャンバーには高電圧ジェネレータが搭載されており、基板ウエハの選択した領域の等圧エッチングを可能にします。さらに、2段階のガス供給システム、化学エッチング剤スプレー、オゾン発生器を使用して、プロセスを均一かつ高効率にしています。拡散炉は窒素大気中で1100⁰Cまでの高温処理が可能で、リンやホウ素などのドーパントをウェーハのシリコン層に堆積させることができます。このプロセスは、電流の流れを改善するゲート構造を作成します。リソグラフィートラックは、高解像度の画像投影によるウェーハ内のパターンの開発を可能にします。電子ビームを使用してウェーハに干渉パターンを生成し、目的の機能を作成します。リソグラフィートラックは、ウエハを紫外線にさらし、電子部品が電流を通過するための導波路を作成するために使用することもできます。このリソグラフィートラックは、走査型電子顕微鏡、マスクライター、電子顕微鏡レーザーリソグラフィーシステムなど、多くの周辺システムとインタフェースしています。TOKYO ELECTRON Expedius Stationは、半導体業界に高いスループットソリューションを提供するよう設計されています。高度に自動化され、費用対効果が高く、製造メーカーは電子部品を迅速に作成できます。要約すると、Expediusは、エッチング、拡散、およびリソグラフィ用のチャンバーで構成される体系的に統合された湿式ステーションです。アイソバリックエッチングや拡散プロセスを実行することができ、正確な解像度でウェーハ上のパターンを開発することができます。このステーションは高度に自動化され、費用対効果が高く、メーカーは電子部品を素早く製造することができます。