中古 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #9190110 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Expediusは、フォトリソグラフィ、エッチング、薄膜、物理蒸着などの複数のウェハ製造プロセス用に設計されたウェットステーションです。中小規模生産向けに設計されたウェットステーションは、ガラス、アルミニウム、シリコンなどのさまざまな基板の加工に最適です。最大3つのプロセスチャンバーを備えたマルチベイ設計で、プロセスガスキャビネットとウェーハ転送装置を備えています。ウェハトランスファーシステムは、ウェハの安全で信頼性の高い輸送のためにシリアル化されたキャリアを使用します。TEL Expediusウェットステーションには、ウエハ温度を規定の窓内に保つ高度な温度制御ユニットを搭載しています。温度、圧力、時間などのプロセスパラメータは、単一の共通ユーザーインターフェイスから調整できます。プロセスレシピの数は、ステーションのメモリに保存することができ、ユーザーは簡単に各レシピを思い出すことができます。精密な水晶センサーにより、自動プロセス圧力キャリブレーションが可能となり、高い再現性が得られます。TOKYO ELECTRON Expediusウェットステーションは、トータルプロセスカバレッジを念頭に設計されています。その安全/環境機能には、フレキシブルスパッタリングチャンバードア、自動化学流量サプライヤー、およびチャンバーの避難が含まれます。高度な化学管理機もご用意しております。効率的で安全な操作を容易にするために、Expediusウェットステーションにはいくつかの機能があります。コンビヘッドロボットツールは、ウェーハ移動時の粒子汚染の可能性を低減します。パーティクルモニターとパーティクルコンテンションアセットを内蔵しているため、粒子がウェーハの敏感な部分に到達するのを防ぎます。ウェットステーションには、産業用ロボティクス、自動化された手動ノズルシステム、フレキシブルウェハハンドラ、および効率的なロボット制御ソフトウェアも備えています。TEL/TOKYO ELECTRON Expediusウェットステーションには、加工チャンバー内の複数のパラメータを監視する統合レーザー測定モデルが搭載されています。データロガー、センサー、統合レポート機器もパッケージの一部です。これらの機能は、完全なリアルタイムのプロセス制御と効率的なプロセスデバッグを提供します。結論として、TEL Expediusは信頼性と再現性の高い結果を保証する多くの高度な機能で構成されています。包括的な安全/環境機能とプロセス監視機能により、市場で最高のウェットステーションソリューションの1つを提供します。