中古 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius+ #9098650 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius+は、ウェーハ自動洗浄技術の最新技術を搭載したウェットステーションです。ウエハを超純水で効率よく洗浄するためのシングルチャンバーツールです。TEL Expedius+は、特許取得済みのウォーターフォールリクラインフラッシュ技術などの高度な機能を備えており、スポング、すすぎ、乾燥プロセスが1つのチャンバーで完了します。これにより、メンテナンス要件が大幅に削減され、一貫した洗浄性能が保証されます。革新的なセルフクリーニング機能により、ダウンタイムとプロセス汚染も低減します。高度なウェーハクリーニングシステムは、高いスループットと高い清浄度でウェーハクリーニングプロセスを提供するように設計されています。特許取得済みのウォーターフォールリクラインフラッシュ機能を活用し、洗浄液と加熱ウエハの流れを均一に最適化することで、高い洗浄性能を実現しています。さらに、統合されたモータ駆動ターンテーブルは均一な攪拌と均一な加熱を保証し、洗浄性能を向上させます。さらに、内蔵のプレクリーントリートメントシステムは、洗浄中に生成される表面品質を向上させ、その後のフィルムと抵抗のための一貫した基盤を提供します。Expedius+は、汚染を低減し、プロセス手順を最小限に抑えるように設計されています。ウェハクリーニングプロセスは自動化され、慎重に監視されて、一貫して部品をきれいにします。自動化されたプロセスは、サイクル数と時間を含む、所望のパラメータでプリセットすることができます。さらに、内蔵の脱気システムにより大気汚染物質を除去し、優れた断熱性を提供し、チャンバーの手動脱ガスの必要性を除去することにより、プロセス手順をさらに短縮します。TEL/TOKYO ELECTRON Expedius+は、高度な洗浄性能を必要とするお客様に最適です。一貫した洗浄性能、効率的なウェーハクリーニングプロセス、およびメンテナンス要件が最小限に抑えられているため、信頼性が長持ちするため、ハイレベルなウェーハクリーニングに最適です。スピードと信頼性の高いパフォーマンスを兼ね備えたTEL Expedius+は、最高レベルの清潔さを実現するために、ウェーハを迅速かつ効果的に洗浄します。