中古 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #9098649 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Expediusはマイクロリソグラフィープロセス用に設計されたウェットステーションです。半導体デバイス製造に使用されるさまざまな湿式加工工程に要する時間を短縮するために設計された、自動化されたオールインワンウェットステーションです。TEL Expedius Wet Stationには、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス、プロセスレシピ、改善されたユーザーコントロール、プロセス監視、データロギングなど、さまざまな機能が搭載されています。TOKYO ELECTRON EXPEDIUSは、ディップタンク、スピナー、ドライヤーなど、最大3つの個々のプロセスモジュールを搭載したモジュラーシステムです。各モジュールは独立して制御され、プロセスのパフォーマンスを最適化するために監視されます。ディップタンクは均質な化学プロセス処置を保障するために高速攪拌と設計されています。スピナーは、異なるウエハサイズにわたって均一な結果を達成するために、等しく一貫した回転速度と分配速度を提供します。乾燥機は、正確な乾燥を確保するために調整可能な真空と温度設定を持っています。Expediusの直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）により、ユーザーはプロセスレシピを作成および変更できます。プロセスレシピは正確なパラメーター制御を提供し、ユーザーが追加のプログラミング作業なしに新しいターゲットを素早く設定できるようにします。GUIはまた、データロギングとポストプロセス分析ツールを提供し、プロセスのパフォーマンスを文書化および監視します。TEL/TOKYO ELECTRON Expedius Wet Stationの高度なプロセスモニタリング機能には、温度、湿度、溶液濃度などの主要プロセスパラメータのリアルタイム監視が含まれます。これらのパラメータを監視することで、ユーザーはプロセスの潜在的な問題をすばやく特定し、マイクロリソグラフィ結果の一貫性を維持するための是正措置を行うことができます。TEL Expediusは、マイクロリソグラフィ処理の時間とコストを削減しようとする組織にとって理想的なソリューションです。ユーザーフレンドリーで効率的なソリューションを提供し、一貫性のある高品質な結果をもたらします。TOKYO ELECTRON Expediusは、豊富な機能、使いやすいグラフィカルユーザーインターフェース、高度なプロセスモニタリングを備え、あらゆるマイクロリソグラフィーラボに欠かせない製品です。