中古 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #9032054 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Expedius
ID: 9032054
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2006
Wet bench, 12" Currently crated 2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Expediusは、複雑な基板加工プロセス向けに設計されたウェットベンチです。この精密機器は、先進半導体、プリント基板、MEMSデバイス製造に使用されています。ウェットステーションは、正確で高品質な結果をもたらす信頼性と再現性の高い基板製造を保証するように特別に設計されています。TEL Classic Expeediusステーションには4つのプロセスステーションとプローブステーションがあります。各ステーションには、調整可能な圧力ポンプ、化学供給システム、温度制御、およびモーションコントロールシステムが装備されています。ポンプは塩酸、硫酸、塩化鉄およびTMAHを含む溶媒およびエッチング剤の範囲を分配できます。TOKYO ELECTRON Expeedius Stationには、処理中の基板から廃液を取り除くための真空装置もあります。真空システムは液体の汚染を防ぎ、無駄を最小にするように設計されています。TEL/TOKYO ELECTRON Expeediusステーションは、基板製作時の高精度を実現するよう設計されています。多軸モーションコントロールユニットは、正確な基板のアライメントとパターニングを保証します。温度制御システムは、最適なエッチングと蒸着を保証するために、正確な温度管理を可能にします。さらに、大きく調整可能な圧力ポンプは、正確な配送量と圧力を可能にします。この制御機械は信頼でき、反復可能な基質の製作プロセス結果を保障します。TEL Expeediusステーションには、オペレータや機器を保護するために設計された安全インターロックツールもあります。安全インターロック資産は、不適切な化学濃度、高圧レベル、および高温を防ぐように設計されています。さらに、ステーションには監視および制御装置の高度なモデルが装備されています。この装置は、製造環境が制御されたままで、オペレータや機器に対するリスクを最小限に抑えられるように設計されています。東京電機Expeediusステーションは、半導体、プリント基板、MEMSデバイス製造業界で広く使用されています。この湿式ステーションは、高精度で高品質な結果を提供することにより、高度な基板加工プロセスに最適です。
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