中古 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius+ #293829704 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius+は、最新の高度なスプレー技術と高度な自動化とTELからのロボット処理を組み合わせたウェットプロセス装置です。洗練された湿式ステーションで、業界をリードする洗浄、蒸着、エッチング、パッシベーションのプロセスを実現し、高効率な製品構造を作成します。システムの中核となるのは、高速ノズルを使用して微細で均一な液滴を作成し、プロセス制御を最適化する先進のMicroMist技術です。このデジタルノズルは、1列あたり最大800個のノズルを提供し、0。5 um以上の精度で、リアルタイムプロセス監視の下でスプレー特性を正確に制御できます。このユニットは、化学薬品、ガス、揮発性液体など、特定の液体を正確に供給することができます。TEL Expedius+は、統合されたインテリジェントなロボットアームをプロセスプラットフォームに統合し、正確な自動化を実現します。TriClusterとして知られているこのロボットアームは、あらゆる種類のプロセスニーズに合わせてカスタム構成することができ、制御ソフトウェアとは独立してプログラムされています。これにより、位置決め、向き、モーションコントロールからプロセス全体を完全に柔軟に制御できます。TOKYO ELECTRON Expedius+は、自動化された機能に加えて、ウェーハ位置の高度な処理と制御、クリーニングとローディングアーム、優れたウェーハ表面品質と均一性を提供します。優れたウェーハ処理とアライメント機能により、ウェーハ上の回路パターンを高精度に配置できます。改善されたクリーニングとパッシベーション技術は、機械に統合され、プロセスモニタリングと再現性を向上させるための広範なプロセスモニタリングと制御のスイートです。Expedius+は、精密、工業用グレードのウェーハ洗浄、成膜、エッチングなど、ウェーハ加工における最先端の技術をお客様に提供します。高度なオートメーション、ロボットハンドリング、デジタルノズルスクラブ、および高度なウェーハハンドリングの組み合わせにより、お客様はプロセスをかつてないほど制御し、優れた結果を得ることができます。