中古 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius+ #293745373 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius+は、高品質で信頼性の高い均一性とメンテナンス性の低いクリーニングプロトコルを備えた先進的なウェーハ処理装置です。先進的かつ包括的な機能セットにより、最先端の半導体製造から研究開発、プロトタイピングまで、幅広い用途に対応できます。TEL Expedius+の中核には、スリムレイアウトフレームのウェットステーションがあります。このウェットステーションは、ストリップやクリーニング、成膜、エッチング、表面処理、ドーピングなど、さまざまなプロセスに最適です。さらに、ウェットステーションは精密なスキャン自動位置決めシステムを誇り、正確で再現性の高い処理が可能です。ウェットステーションは、シングルポートモデルから完全に統合されたマルチポートユニットまで、幅広いプロセスチャンバー構成が可能です。モデルによっては、最大12個の基板を同時に収容することができ、より効率的なウェーハ生産と高いスループットを実現します。広々としたウェットステーションとマルチポート構成に加えて、ウェーハツーウェーハクロスウェーハ測定、サブチャンバー排気、基板適合性を高めるためのカセット間カセット移動、一貫したトップロード測定機など、さまざまな先進技術を備えています。これらのすべての機能は、適切なウェーハと基板の処理を確実にし、優れたプロセス制御を提供し、さまざまな実行でウェーハ平面性を再現可能なセルフアライメントを実現するように設計されています。機能とアメニティの印象的な配列に加えて、Expedius+はまた、耐久性のあるセルフクリーニングデザインを誇っています。画期的なArFセルフクリーニングメカニズムは、手動での介入を最小限に抑えてウェーハと基板の品質を維持するのに役立ちます。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON Expedius+は、優れた均一性、広範なプロセス機能、高度な機能を誇る、高性能で効率的なウェーハ処理アセットです。このモデルは、優れた機能を備えており、研究開発やプロトタイピングから大規模な生産まで、ウェーハ処理のニーズに最適です。