中古 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #293633734 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Expediusは、半導体ウェーハの加工・取り扱いの効率化と精度向上を目的としたウェットステーションです。ウェットステーションは、乾燥した超クリーンな環境を確保し、最も正確で信頼性の高い半導体処理を可能にします。この湿式ステーションは高度な技術で設計されており、ファブクリーンルーム処理環境に優れたソリューションを提供します。TEL Expediusウェットステーションは、直径4インチから200mmまでのウェーハを取り扱うように設計されています。このユニットには3つの強力なモーターが装備されており、それぞれ最高速度は2,500rpm,トルク定格は1,500N-cmです。この位置決め装置は、個々のウエハの取り扱いと処理を正確に制御する調整可能な圧力センサも備えています。ウェットステーションは、高度なガス制御システムを備え、製造プロセスを実行するための安全で純粋な環境を提供します。統合された化学プロセスおよび乾燥システムは、化学分配および洗浄プロセス中の汚染を最小限に抑えます。また、高精度ケミカルエッチング用のレーザーエッチングユニットも搭載しています。ウェットステーションは、スピンリンサ、ウェハキャリア、金属リフター、加熱乾燥室、湿度モニター、温度および湿度制御機、超純水浄化ツールなど、幅広いオプションのアクセサリーを提供します。これらの追加部品は、ステーションの完璧な性能をさらに高めます。直感的なグラフィックユーザーインターフェイスのおかげで、ステーションはユーザーフレンドリーで操作が簡単です。このインターフェースを使用すると、材料の流れを簡単に監視および制御し、設定を管理し、リアルタイムプロセスデータを表示できます。これらの機能の組み合わせにより、ウェットステーションはさまざまなプロセスを統合するための信頼できるプラットフォームになります。最先端のTOKYO ELECTRON Expediusウェットステーションにより、製造プロセスがスムーズかつ効率的に実行されます。このステーションは、優れた性能と、ハンドリング、位置決め、および処理ウエハの柔軟性と精度を提供します。この驚異的なウェットステーションは、優れた歩留まり、優れた品質、および信頼性の高い半導体デバイスをもたらします。