中古 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #293633733 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Expediusは、半導体デバイス製造工程での使用を想定したウェットステーションです。ウェット加工とリソグラフィーツールの理想的な組み合わせであり、最高のプロセススループット、歩留まりと信頼性の向上、そして最高品質の結果につながります。ステーションは、スピンプロセッサ、複雑なイオン注入器、および蒸気供給システムで構成されています。スピンプロセッサは、最大20ステーションの自動スピンコーティングを可能にし、均一な層の堆積を提供します。イオン注入器は、各焦点ビームの電荷を制御するために、高エネルギーでイオンを堆積させます。蒸気供給システムは、CVD、 PVD、エッチングのアプリケーションを効率的に実行するために重要なガス流量の増加を可能にします。TEL Expediusは、ステーション内に最適なマイクロ環境を作り出す最先端の技術も提供しています。コンピュータ制御のアクティブクーリングを内蔵した真空チャンバーは、大気中の水分による汚染を防ぎます。オゾン破壊システムとケミカルトラップにより、オゾンがワークに到達するのを防ぎます。プログラム可能な温度と湿度制御を備えたプロセスチャンバーは、ウェットプロセスを成功させるために最も一貫した化学環境を維持します。また、安全性を向上させるための高度な故障検出機能と自動シャットオフ機能を備えています。フォルト検出は、プロセスパラメータのシフトを特定し、そのようなシフトから生じるプロセスの欠陥を排除するのに特に役立ちます。自動シャットオフにより、こぼれやその他の事故のクリーンアップにかかる時間が短縮されます。TOKYO ELECTRON Expediusでは、ユーザーが自分のニーズに合わせてステーションをカスタマイズすることもできます。モジュール式の性質により、特定のコンポーネントの追加または削除が可能になり、ユーザーはプロセスパラメータを正確にフィットさせることができます。このステーションは、ウェーハ、トラック、またはその他の基板を簡単に転送および監視できるように、ロードポートなどの他の半自動化または自動化されたシステムと統合することもできます。全体的に、Expediusは退屈な湿式プロセスを簡素化および自動化することによって効率を高め、歩留まりを改善します。ユーザーはステーションを自分のニーズに合わせてカスタマイズし、他のシステムと統合してワークフローを増やすことができます。さらに、高度な安全機能により、プロセスが監視され、トラブルフリーであることを確認し、中断のない生産を可能にします。