中古 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #293633732 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Expediusは、ウェーハスループットの自動洗浄、加工、化学プロセス制御、制御を目的としたウェットステーションです。この革新的な技術は、ユーザーフレンドリーな操作、高速処理、高度なプロセス制御機能など、さまざまな機能を備えています。TEL Expediusは、さまざまな処理アプリケーションのカスタム構成の設計にAuto-CAD （Computer Aided Design）装置を使用しています。システムは、異なるプロセスのための複数の構成でウェットステーションのセットアップを可能にします。これにより、より効率的な処理注入が可能になり、ユーザーはウェットステーションで実行されるプロセスに合わせてさまざまなパラメータを設定できます。TOKYO ELECTRON Expediusは、複数のプロセスを同時に処理することができます。この機能により、従来のウェットステーションよりもはるかに高速にウェーハ洗浄などの処理を行うことができます。さらに、このユニットにはプロセス監視および制御機能が含まれています。湿式ステーションのすべてのコンポーネントの温度、流量、圧力、およびその他のパラメータを監視できます。この機能は、ソフトウェアが提供する自動プロセス制御と組み合わせることで、処理環境を簡単かつ正確に制御することができます。Expediusは、ウエハ洗浄プロセスからエッチング/吸収浴後まで、酸、塩基、有機溶剤、触媒など、すべての化学物質に完全に自動化されたプロセスを利用しています。このオートメーションにより、マニュアルシステムよりも大幅に高速になり、ユーザーエラーの可能性を排除します。さらに、このツールはセンサーとコントローラを使用して、プロセス中の精度と再現性を保証します。TEL/TOKYO ELECTRON Expediusは環境配慮を念頭に設計されています。このウェットステーションには、処理中に発生する有害または有毒な発煙や粒子を除去することができる排気資産が装備されています。このモデルには排水装置も含まれており、すべての液体廃棄物が環境を保護しながら安全に廃棄されるようにします。全体として、TEL Expediusは信頼性が高く効率的なウェットステーションです。高精度、高速操作、自動化されたプロセス制御を促進します。このウェットステーションを活用することで、加工時間と人件費を大幅に削減するとともに、最高品質の製品を作成することができます。