中古 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #293629295 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Expediusは、産業用ウェーハの洗浄、剥離、エッチング、乾燥、仕上げのウェットステーションです。ウェットステーションには、プロセスタンクとして知られる最先端の微細加工工具ステーション内部チャンバーが装備されています。プロセスタンクは一連の相互接続されたコンパートメントで構成されており、各コンパートメントは特定の機能を実行するように設計されています。ウェットステーションには、ウェットプロセスステーション、スピンリンスドライヤー（SRD）、溶液温度など、さまざまな補助治具やユーティリティが装備されています。ウェットステーションのプロセスタンクはモジュール式に設計されており、特定の運用要件に合わせて調整することができます。プロセスタンクには複数のセキュリティバルブが装備されており、コンパートメントを遮断し、危険物や危険物がステーションに入るのを防ぐように設計されています。プロセスタンクはISO 9001規制に適合しており、外部圧力パージ、自動化学管理装置、排気システムなどの安全機能を備えています。湿式ステーションは、湿式ステーション内の機器の主要部分の一つです。これにより、ウエハーの超高速超クリーン処理が可能となり、あらゆる種類のウエハーの迅速な洗浄、剥離、エッチング、乾燥、仕上げに理想的なツールとなります。このウェット処理ステーションは、温度、時間、圧力制御を備えた完全に自動化されたユニットと高度なケミカルソリューション管理マシンを使用して、高い信頼性を備えています。スピン洗浄乾燥機（SRD）は、湿式ステーション内の重要なコンポーネントです。自動化された方法でウェーハを素早く乾燥させるため、乾燥工程による待ち時間を気にすることなく、次の段階に素早く移行できます。SRDは非常に効率的な方法でウェーハを乾燥させることができ、エネルギー消費を大幅に削減できます。SRDは非常に正確で、温度、圧力、溶液濃度を高精度で測定する能力を備えています。溶液温度（STT）もウェットステーションの重要な部分です。このユニットは、プロセスタンク内の溶液の温度を正確に監視および制御し、特定のプロセスで高すぎたり低すぎたりしないようにします。STTはまた、プロセス全体にわたって温度が一定であることを保証し、ウェーハを一貫して作業できるため、予測可能で再現性のある結果が得られます。最後に、ウェットステーションには、タンクカバー、カバーリフター、液面モニター、スプリンクラー、タンクベンチングツール、廃棄物処理資産、タンク閉塞検出モデル、吸引システム、および空気再循環システムなど、さまざまな追加のユーティリティと備品が装備されています。これらはそれぞれ、処理タンクの最適なサポートを提供し、信頼性と安全性を確保します。要するに、TEL Expediusはウェットステーションであり、産業環境においてウェーハのクリーニング、ストリップ、エッチング、乾燥、仕上げに優れています。このウェットステーションには、プロセスタンク、ウェットプロセスステーション、スピンドライヤー、溶液温度、および追加の治具やユーティリティなど、最高品質のコンポーネントとシステムが装備されています。このウェットステーションは非常に信頼性が高く効率的で、ユーザーはほんの数分の1の時間でプロセスを完了することができます。