中古 TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #293629289 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Expediusは、高度な半導体加工のために設計されたウェットステーションです。これは、さまざまなアプリケーションのためのプロセスの範囲を提供しています。不活性ガス、液体化学薬品、大気化学薬品を用いた高速・高精度加工が特長です。小型から大型まで、あらゆるサイズのウェーハを加工できます。異なるプロセスを同時に実行する複数のプロセスモジュール。流量、温度、反応の持続時間など、正確に制御できるプロセス。複数のタイプのインストゥルメントおよびプロセスコントローラとの互換性。処理を簡素化し、高速化するオートメーション機能。ユーザーがリアルタイムでプロセスを監視および制御できるようにする強力なグラフィカルユーザーインターフェイス。TEL Expediusには、システムの動作に重要なコンポーネントがいくつかあります。1つ目は、制御ソフトウェアと制御システムと異なるプロセスモジュール間の通信を提供する中央処理ユニット（CPU）です。2つ目は、プロセスで使用される液体化学物質の流れと分散を処理するシステムであるLiquid Handlerです。3つ目は、基板キャリア上のウェーハのローディング、アンロード、アライメントを制御する基板ハンドラです。最後に、4つ目はプロセスコントローラで、流量、温度、およびその他の前露パラメータなどのパラメータを制御します。TOKYO ELECTRON EXPEDIUSは、様々な化学薬品を用いたウェーハの高精度加工を目指して設計されています。また、さまざまな種類の機器やプロセスコントローラをサポートしているため、プロセスの設計に大きな柔軟性があります。自動化機能はまた、処理の効率を高めます。グラフィカルユーザーインターフェイスにより、プロセスの監視と制御が簡単になり、ユーザーはいつでも処理を開始、停止、一時停止することができます。また、ユーザーはプロセスの異なるシーケンスをプログラムし、それらをすばやく切り替えることができます。Expediusは、高度な半導体加工に最適です。